温度范围

18°C-22°C

温度变化   每小时

每24小时

1.0K

2.0K

温度梯度   垂直

水平

1.0K/m

1.0K/m

型号

Crysta-ApexC203016G

Crysta-ApexC306016G

测量范围 X轴

2005mm

3005mm

Y轴

3005mm

6005mm

Z轴

1605mm

2005mm

分辨率

0.1μm

0.1μm

精度*MPEE

(9.0+8.0L/1000)μm

(11.0+9.0L/1000)μm

工作台材料

花岗岩

花岗岩

重量(主机)

12000kg

16000kg