RF电源维修键词表
: RF电源维修
, RF射频电源维修
, AE射频电源维修
, ENI射频电源维修
, VEECO射频电源维修
, PVD电源维修
, MOCVD电源维修
, CVD电源维修
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PECVD电源维修
,光学镀电源维修
RF ( 射频系列 ) : RFG : RFG 80 、 RFG 1250 、 RFG 1250 HALO 、 RFG 1251 、 RFG 3000 、 RFG 3001 、 RFG 5500 、 RFG 2K-2V 、 RFDS 1250 、 RFDS 1250-A 、 RFDS 3000 、 RFDS 2Kw-2KV ;
APEX : Apex 1513 、 Apex 2027 、 Apex 3013 、 Apex 4027 、 Apex 5513 、 Apex 7kW/13 、 Apex 10kW/13 、 Apex 3513 、 Apex 10013 、 Apex 8013 、 Atlas 2 、 Atlas 1513 、 Atlas 3013 、 Atlas 2504 、 Atlas 2027 、 Atlas 2012 、 Atlas 4012 、 Atlas 5002 、 Atlas 5012 、 Atlas 5013 、 Atlas 5027 、 Rapid F ;
RFX : RFX 600 、 RFX 600A 、 RFX 1250 、 RFX 2500 、 RFX 5500 、 RFG-AZX ;
RFX II : RFX II 1250 、 RFX II 3000 、 RFX II 5500 ;
HFG : HFG 2500 、 HFG 5000 、 HFG 4M ;
HFV : HFV-3K 、 HFV-5K 、 HFV-8K 、 HFV-L 3KW ;
Ovation VHF:VHF-2760W 、 VHF-2060 、 VHF-2560 、 VHF-35162 ;
ICP Generator:ICP-1KW 、 ICP-1.5KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW ;
Dressler HPG:HPG 03300 、 HPG 13150 、 HPG 13300 、 HPG 27300 ; Dressler Cesar: Cesar 0210 、 Cesar 0220(200v/400v) 、 Cesar 0225(200v/400v) 、 Cesar 0230(200v/400v) 、 Cesar 0250(200v/400v) 、 Cesar 026 、 Cesar 0410 、 Cesar 0420(200v/400v) 、 Cesar 0425(200v/400v) 、 Cesar 0450(200v/400v) 、 Cesar 046 、 Cesar 1310 、 Cesar 1312 、 Cesar 1320(200v/400v) 、 Cesar 1325(200v/400v) 、 Cesar 133 、 Cesar 1330(200v/400v) 、 Cesar 1350(200v/400v) 、 Cesar 136 、 Cesar 2710 、 Cesar 2720(200v/400v) 、 Cesar 273 、 Cesar 2740(200v/4000v) 、 Cesar 276 、 Cesar 4010 、 Cesar 4020(200v/400v) 、 Cesar 403 、 Cesar 4040(200v/400v) 、 Cesar 405 、 Cesar 6010 、 Cesar 6020(200v/400v) 、 Cesar 603 、 Cesar 605
RFPP : RF-5S 250/500W 、 RF-10 、 RF-10S 、 RF-20 、 RF-20S 、 RF-25 、 RF-30S 、 RF-30H 、 RF-35 、 RF-40 、 RF-50 、 RF-50S 、 RF -10M 、 RF-10MWC 、 RF-20R 、 RF -20M 、 RF -25M 、 LF-5 、 LF-10 、 LF-20 、 LF-30 、 LF-50 、 HF-5 、 HF-10 、 HF-100 、 HF-150 Match Networks ( 匹配网络 ) :
AL-10 、 AL-15 AM-5 、 AM-10 、 AM-20 、 AM-25 、 AM-30 、 AM-35 、 AM-40 、 AM-50 、 AM-100 、 AM-150 、 AM-250 、 AM-300 、 AMU10E-2 、 AMN-2000 、 AMNPS -2A 、 ATX-600 、 ATX-1250 、 ATX-2500 、 ATL-100 、 AZX-10 、 AZX-40 、 AZX-63 、 AZX-72 、 AZX-90 、 AZX-Dome 、 Navigator 640 、 Navigator 1013 、 Navigator 1013-P15 、 Navigator 1013-L35 、 Navigator 2502 、 Navigator 3013 、 Navigator 3013-ICP 、 Navigator 4027 、 Navigator 4040 、 Navigator 5060 、 Navigator 5513 、 Navigator Dual 5513-2060 、 Navigator Dual 5513-5502 、 Navigator 5513-L80 、 Navigator 5513-T150 、 Navigator 7013-L90 、 Navigator 10013 、 Navigator 10013-L140 、 Navigator 25013 、 Navigator 25027 、 Navigator 2040 、 Navigator 2060 ; VZX-5000 、 VZX-9100 、 TL-5 、 TL-10 、 TL-15 、 LM-5 、 LM-10 、 LM-30 、 LM 8000 、 LM-IPX 、 LM Others 、 Mercury 1K 、 Mercury 2K 、 Mercury 3K 、 Mercury 10K 、
ICP-1KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW 、 ICP-5KW 、 P.5000 、 FTMS-2KW 、 MFA Series 、 FM Series 、 SFM Series ; Dressler VM:VM 0415-AW 、 VM 0450 W-ICP 、 VM 1000A 、 VM 1500AW 、 VM 1500 W-ICP 、 VM 2715-AW 、 VM 5000 W-10T 、 VM 5000 W-2T 、 VM 5000 W-4T 、 VM 5000 W-6T 、 VM 5000 W-8T 、 VM-5000 W-ICP 、 VM 600A
ENI(MKS) RF( 射频系列 ) :
DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 、 DPG-10 ; ACG Series:ACG-3 、 ACG-3B 、 ACG-5 、 ACG-6 、 ACG-6B 、 ACG-10 、 ACG-10B 、 2100L -15P ; 5100L , 600L , 600P , 601P ; OEM Series:OEM-6 、 OEM -6A 、 OEM-6B 、 OEM-12 、 OEM -12A 、 OEM -12A -XL 、 OEM-12B 、 OEM-12-B3 、 OEM -25A 、 OEM-25-XL 、 OEM-28B 、 OEM-50 、 OEM-1250 、 OEM-2000 、 TEL-7000-RF ; SPECTRUM Series:B-1513 、 B-3013 、 B-10013 、 B-10002 、 B-5002 、 B-11002 、 B-5513Z 、 B-10513 ; SUREPOWER Series:QL-3513 、 QL-6513 、 QL-10513 、 QL-13013 ; GENESIS(GHW 、 GMW 、 GEW 、 VHF)Series:GHW-12 、 GHW-25 、 GHW-50 、 GHW-80 、 GHW-2527 、 GHW-3040 、 GHW -58A 、 GHW- 85A 、 GMW -25A 、 GMW-25Z 、 GEW-2527 、 GEW-3040 ; NOVA Series:NOVA -25A 、 NOVA-25 、 NOVA -50A ; RACK Series :RACK-AM-300 ; OTHERS : DPGS-10 、 DPGD-10 、 LPG -6A 、 LPG -12A 、 PL1-HF 、 PL2-HF 、 PL3-HF 、 Quanta-10 、 HF-300 、 HF-650 、 HPG-2
ENI(MKS) 匹配网络 :
D Series:MW-5D 、 MW-10D MW-5D-01B 、 MW-5DM12 、 MW-25D -05M 1 、 MW-25LD 、 MW-50 ; LD Series:MWD-25LD 、 MWD-55LD ; H Series; MWH-5 、 MWH-25 、 MWH-100 ; M Series:MWM-25 ; DUAL Series:MW2-30 ;
OTHERS:MH -1001A 、 MH -2002A 、 RFC-5MW 、 RFC-6 、 MHC-1001 、 MHC-2002 、 VL-400 、 ENI-2500W-13.56
AE(Advanced Energy) MDX Ⅱ -18KW AE(Advanced Energy) Diamond 8KW
AE(Advanced Energy) RFG-1250 AE(Advanced Energy) RFG-1250 AE(Advanced Energy) RFG 2000-2V AE(Advanced Energy) MDX13 13KW 东莞市康迪电子设备有限公司
, 主要从事
RF 清洁、金属和电介质蚀刻、感光耐蚀膜抛光、物理气相沉积(
PVD)、化学气相沉积(
CVD)、等离子增强化学气相沉积(
PECVD)、溅射沉积
MOCVD等工艺,并且相关的产品广泛应用于尖端的材料科学和制程技术的改善,从精密的半导体工业、光电产业到工业用工具的表面镀膜、食品及制药工业等,这些制造过程都涉及到在控制的环境内使分子气相及固相发生适当的反应,以便在材料上形成不同的材质或薄膜。此外,还提供
DC溅射(反应溅射和金属化溅射)、
AC双阴极溅射和
PECVD,以及用于离子束沉积、反应离子束蚀刻(
RIBE)和尖端等离子仪表应用的设备。
AE(Advanced Energy),
ENI(MKS)等国际品牌
RF射频电源及直流电源的维修测试及调校。同时为中国半导体、平板显示器、数据储存产品、太阳能电池、光电子、建筑玻璃和其他先进产品应用等行业和各类大专院校、科研院所提供专家级射频电源维修保养,升级换代服务工作。
合作品牌单位
:中山大学
/中镓半导体
/中图半导体
/尚能光电
/比亚迪
/华科光电
/3C集团
/富士康业成光电等等大型厂商
ModelRated
Power OutputAccuracyFrequency StabilitydLoad Impedance RangeAutomatic Frequency Tuning130-13,000W±
1%13.56 MHz
±
0.005%Unlimited±
5% Bandwidth
(optional)105-10,500W±
1%65-6,500W±
1%55-5,500W±
1%35-3,500W±
1%10-5,000W±
1.5%10-2,500W±
1.5%10-1,250W±
1.5%1-100W
101-750W2W
±
2%n/a1-100W
101-600W2W
±
2%1-100W
101-300W2W
±
2%GEW3540, 40.68 MHZ,
3.5KW RF PLASMA GENERATOR