(一)、激光干涉仪的使用范围和基本要求:
1. 主要应用于对数控机床,三座标测量机等高精度的数控设备进行位置精度,几何精度,工作精度的检测与校准。
2. 仪器要求适用于国际最新检测方法,世界知名品牌,国内用户至少100家以上,国内要有完善的售前售后服务机构。
3. 激光器拍频精度达到±0.05ppm, 系统测长精度达到±0.5ppm(0-40ºC)。
3.1 XL-80 线性测长:
* XL-80 线性测长精度: ±0.5ppm(0-40摄氏度)
* 线性测量范围: 0-40米
* 最高测长分辨率: 0.001微米
* 最高测量速度: 240米/分钟
* 激光头外部供电范围:90V-264V
3.2 小角度测量:
* 小角度测量精度: ±0.6%±0.5±0.1M微米/米
* 小角度轴向测量范围: 0-15米
* 小角度测量范围:±10 度
* 小角度分辨率:0.01 秒