观察影像实例

  
 

  明视场观察

  
 

  新暗视场观察

  
 

  传统的暗视场观察

  
 

  亮度光圈调节示意图

物镜选择和观察方法切换连动，自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。

  
 

  深紫外线观察用物镜

MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能优越的动态AF。新开发的多点方式的传感器的采用，大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中，实现了追踪观察位置的实时对焦。

  
 

  物镜UIS2系列产品

在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品，与各种观察单元组合，可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。

  观察方法的切换非常简单，只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。

 

观察影像实例

  
 

  明视场观察

  
 

  暗视场观察

  
 

  微分干涉观察

  
 

  荧光观察

  
 

  近红外线观察（左）和可见光线观察（右）的比较

  
 

  适应分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模块

"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜，还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。一直以来，必需进行若干个操作才能实现的高级观察方法、深紫外线观察等的切换，只要一次点击就能顺利完成。该软件进一步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变化的分析需求。

  
 

  显微镜控制软件显示画面

显微镜控制软件MX2-BSW不仅能进行各种显微镜控制和AF，还能综合控制深紫外线观察单元和电动载物台*1等。对于数码照相机*2，能够控制它的观察和记录。观看实况影像时单击需观察的地方，快速移动到视场中心、实况计量和检测、影像记录等一系列作业就能容易的得以实现。

*1对应本公司推荐的电动载物台

  *2对应奥林巴斯DP21或本公司推荐的IEEE1394数码照相机

  
 

  倾斜观察筒示意图

备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号，或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。

  
 

  洁净对应的电动物镜转换器

备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。

  6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器，采用了新型马达，实现了高速安静的倍率转换。

  
 

  高倍率观察图像示意图

采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察，也不会出现影像模糊的情况。

  
 

  手控开关操作部

配备了触摸屏操作的手控开关，可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法，就能得到基于登录条件的最合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。

  
 

  晶圆搬送机

可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。

  
 

  自动载物台

技术规格：

备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制，可以实现高级检查、不良分析功能。

全自动半导体检查显微镜 MX61A　规格

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正）

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射

照明装置

机身一体型（明视场、暗视场＋1选件）

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

-

对焦单元

电动/手动

电动

行程

25.4 mm

分辨率/微调灵敏度

分辨率0.01 μm

最大样本高度

24 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉5孔

明暗视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉中心补正5孔

手动式

-

载物台

行程

14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm

  8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm

观察筒

广角视场（视场数22）

倒置

-

正像

-

超宽视场（视场数26.5）

倒置

-

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

自动调焦/DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

711（W）×853（D）×552（H）mm（标准组合）

重量

56 kg（标准组合）