Bruker公司的AFM具有多项专利技术，以其卓越的性能广泛应用于科研和工业界各领域
Dimension FastScanTM 原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM），在不损失Dimension? Icon?超高的分辨率和卓越的仪器性能前提下，最大限度的提高了成像速度。这项突破性的技术创新，从根本上解决了AFM成像速度慢的难题，大大缩短了各技术水平的AFM用户获得高质量数据的时间,是世界上扫描速度最快的原子力显微镜。
应用：
应用于科研和工业界各领域，涵盖了聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，薄膜性能表征等领域的监测等各类科研和生产工作。
原子力显微镜的工作模式是以针尖与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。
PSS工艺检测一键测试多个样品，获得样品高度、侧壁角度、 砷化镓外延片表面粗糙度测试，低接触力保护针尖
间距、底部尺寸等参数 和样品
扫描电容显微镜用于检测MOS管表面载流子浓度 利用扫描扩散电阻显微镜扫描InGaAs/InAlAs截面，两 种物质分布界限清晰
基本参数 |
| Icon AFM 扫描管 | FastScan AFM 扫描管 |
XY方向扫描范围 | 90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值） | 35μm x 35μm（典型值）, 30μm 最小值） |
Z方向扫描范围 | 10μm（典型值），9.5μm（最小值） | ≥3μm |
纵向噪音水平 | <30pm RMS值（在合适的环境下，典型的成像带宽最高可达625Hz） | <40pm RMS值（在合适的环境下，典型的成像带宽最高可达625Hz） |
X-Y 最大针尖速度 (1% 轨迹误差) | | >2mm/S |
Z 最大针尖速度 | | 12mm/S |
XY方向闭环噪音水平 | ≤0.15nm RMS值（典型的成像带宽条件最高可达625Hz） | ≤0.20nm RMS（典型的成像带宽条件最高可达2.5KHz） |
Z方向闭环噪音水平 | 35pm RMS值（在合适的环境下，典型的成像带宽最高可达625Hz）；50pm RMS值，力曲线 带宽(0.1Hz到5kHz) | 30pm RMS （在合适的环境下，典型的成像带宽最高可达625Hz） |
XY方向平坦度（30μm范围） | | ≤3nm |
XYZ方向的非线性参数 | <0.5% | <0.5% |
样品尺寸和固定方式 | 210mm直径，真空吸附，≤15mm厚 | 210mm直径，真空吸附，≤15mm厚 |
马达驱动样品台(X-Y轴) | 180mm × 150mm可观测区域；单向2μm重复性；双向3μm重复性 | 180mm × 150mm可观测区域；单向2μm重复性；双向3μm重复性 |
光学系统 | 5百万像素数字摄像头；180μm至1465μm可视区域;数字化缩放，马达驱动聚焦 | 5百万像素数字摄像头；130μm至1040μm可视区域;数字化缩放，马达驱动聚焦 |
控制器 | NanoScope
V | NanoScope
V |
震动隔离 | 可选防震平台或隔音防震平台，气动式 | 可选防震平台或隔音防震平台，气动式 |
