高洁净性：应用臭氧作消毒灭菌剂，停机30分钟后，剩余臭氧即可渐渐自行分解还原为氧，同时还可以改善空气的质量，优化工作环境。所以臭氧被赞誉为“绿色消毒剂” 　　对机器设备无不良影响：臭氧对空所中的浮游菌灭活所需臭氧的浓度很低，一般只需要2~4PPM，对物体表面沉降菌落（代替传统的化学熏蒸大消毒）只需要10~15PPM左右。空气中臭氧浓度只有10-15百万分之一，是化学熏蒸浓度的500分之一。由于灭菌过程时间短，正确使用不足以构成物体腐蚀的条件，这也是大家特别关心的。

　　使用经济：以空气为原料，工作能耗低，运行费用低，经济效益好。

正负压控制严格 无论是电子厂房还是隔离病房、制药厂、实验动物室等，为了防止粉尘、细菌扩散到其他的洁净区域，还是为了防止病毒细菌的扩散引起交叉感染，洁净房间的正负压控制非常重要，准确有效的控制正负压极其关键。实际工程应用中，工业无尘车间一般都是采用正压维持，但对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂以及其他有特殊要求的生物无尘车间则采用负压控制。要想有准确的压差控制值，在无尘车间空气处理机组要求要有较低的漏风率，才能有较高的控制精度。
风量大 无尘车间主要是通过空气量的循环来过滤空气中的尘埃、细菌等，实现对空气中非生物粒子和生物粒子的控制，达到洁净的标准。因此需要有足够的风量来保证室内的洁净度。无尘车间的风量一般按照室内换气次数来计算，通常是10倍，甚至几十倍，尤其是单向流无尘车间，换气次数达到房间体积的几百倍。 大风量对空气处理机组的强度是个考验，目前市面上常见的空气处理机组的都是采用铝合金框架结构、方钢结构的比较多，如果面板的厚度和框架的强度不够，容易造成空气处理机组变形。所以对空气处理机组的强度要求较高。