明电舍(MEIDENSHA)真空电容器

明电舍通过40年对真空断路器的开发制造，积蓄了该领域的丰富技术经验，成功开发制造出高性能,高信赖的真空电容器。真空机器的制造，通常有两种方式1）由真空泵不停排气方式,2)制造中的真空封闭方式。本公司的真空电容器，采用了真空封闭方式进行制造，并且采用了长时间保持真空状态的构造。其产品用于：液晶屏面板制造装置领域，太阳能电池板制造领域，医疗?测量机器领域，半导体制造装置领域，广播电视播放领域，科学研究领域等

真空电容器MEIVAC的特征是

高耐电压真空的耐电压高，易于实现小型化；
低损失可以适用于高RF频率；
大电流通电无整流子结构形式，适合大电流；
高信赖性具有自我恢复性，可以承受瞬间过电压；

规格

真空电容器MEIVAC

MEIVAC真空电容器系列，是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。
真空电容器有以下用途
1作为半导体薄膜制造设备的阻抗整合器
2通信器材的发报线路，同调回路
3诱电加热设备的共振回路
4各种高频率电源的电压增幅回路

近年来，由于半导体产业的发展，真空电容器的用途扩大至CVD，蚀刻，滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻抗

整合应用领域。

 
真空可变电容器

真空可变电容器是通过移动真空容器内的电极而实现静电容量的变化的电容器。
除了了装置115MM标准的型号，还搭载了耐高压特殊电极的黄金型号，同时通过风箱构造以及增强材质的大电

流低扭矩型（H系列）。

标准型特点

 
1寿命长
  采用高强度的不锈钢风箱，实现可变范围二分之一以下的风箱寿命达100万循环。同时通过高强度特殊螺钉

构造，在可变范围二分之一的情况下实现总回转数1000万以上的长寿命。
2微型化
  陶瓷中心栓与外围共振器一体化从而是微型化得以实现。
  统一设为全长140MM（装置标准115MM），容易实现机器安装时的可更换性。 

强电流低扭矩型特点 
    强电流通电
    风扇采用铜合金新材料，可以实现强电流通电。（强电流规格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、

160Arms)
    低扭矩
    H系列内部构造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驱动马达的微型化得以实现。
    长寿命
    采用高强度不锈钢风箱，通过可变范围二分之一以下的风箱寿命100万回转，以及高强度特殊螺钉构造，

能够实现可变范围二分之一的总回转达到1500万以上的超长寿命。

真空固定电容器

真空固定电容器的诱导体为真空，使用损耗较低的陶瓷作为绝缘体，极大的抑制了损耗系数。从而使电容器即

实现了微型化，又能耐高压和承受强大电流。

特点

耐高压
由于绝缘体是真空，绝缘体能承受很高的电压，即使在高电压回路中也安然无恙。
低损耗
真空诱电体能极大降低损耗。诱电体的损害只出现在构成真空容器的电容器两端的绝缘陶瓷以及导航用陶瓷。

微型化
通过采用耐高压的特殊电极实现微型化。

1. 真空电容器在出厂运送中，为避免受到碰撞的影响而进行了包装，但电容器本身是一种容易因碰撞而破 损的构造，因此在安装前请确认静电容量，耐电压及是否有损伤。容许耐碰撞值为294m/s2。请避免因掉 落或超过掉落以上的冲击。
2. 为防止外闪，请用干棉布或含有酒精的棉布擦拭真空电容器的绝缘桶部分以去掉灰尘。此时，请不要使 用含有盐分的溶剂(如;三氯乙烯)
3. 如在真空电容器的绝缘桶部分之外有灰尘的附着，请同样用擀棉布擦拭。

1. 在安装真空电容器时，请注意弯曲应力不要超过1225 N??1??1cm。另外，固定面和活动面均有支撑的情况下， 为保护真空电容器不受因发热膨胀和外力影响，请保证任意一侧的安装部分为柔软构造。
2. .在转动真空电容器的静电容量调整轴时，请使用不给轴的横向加力的柔软性的联轴器。在不使用柔软性 连轴器的情况下，轴心的偏离容许值为0.2mm以下。轴心偏离超过以上数值，会发生转动异常现象。
3. 在使用VM规格的选项轴承(另外销售)时，会用成对角线的2个螺丝将轴承安装在真空电容器上出货。此时 容量调整螺丝位置已是最佳状态，因此请不要取下该螺丝。
4. 当客户自己准备轴承时，请以静电容量调整螺丝和M5丝锥的最大偏离±1mm为前提进行设计。
5. 请保证固定面和活动面丝锥在既定紧固扭矩(Ｍ5丝锥：147N??1??1cm、M4丝锥：71.6Ｎ??9??9cm）以下。另外，固定面和 活动面间的位置偏差最大不能超过±1mm。

1. 真空电容器的容许震动值为98m/s2，请不要超 过以上震动数值。
2. 真空电容器的表面温度如超过125度，会有可能 发生通电异常。如表面温度有上升的可能性，请 使用自由选型的水冷法兰盘。
3. 请不要将有静电金属接近真空电容器，因受旁 边金属影响，真空电容器 的外部可能会有闪洛 现象，请保证充分的空间。
4. .请不要在腐蚀性气体(特别是硫磺,氯气)或尘埃 环境下使用真空电容器。腐蚀性气体会是真空电 容器表面变色退色，有时会影响到真空电容器的 特性。

真空电容器VM、VT、FC、FS规格里内藏的陶瓷中心针当碰到两端时会发出声音。竖向使用时，静电容量调整轴会发生转动，性能上无任何问题。

陶瓷中心针滑动时会有生引发出，对产品性能无任何影响。

电极间的绝缘破环电压的极限值。
在一定时间内对加压状态下的绝缘不被破坏作出厂检测。

连续加压可能的电压值。
连续工作电压相当于高峰试验电压值的60%。

连续通电可能的电流值。在高周波环境下，因表皮效果所造成的损失增加会使容许电流降低。以下是最大电流的定义。

调整可变容量型真空电容器的静电容量，可以通过转动静电容量调整轴来上下区东电极。向右(顺时针)转动静电容量调整轴时，静电容量随之减小。可调整到静电容量最小方位。向左(逆时针)转动静电容量调整轴时，静电容量随之增加。可调整到静电容量最大方位。可变容量真空电容器虽设置了以上的机械调整，但如需回零时，请使用最小静电容量方向的调整塞。如果和最大静电容量面发生碰撞，螺丝有破损的危险。 最小静电容量的碰撞许可值请残照下表。

规格容许转矩值备注

1. 可变型真空电容器的寿命是由消耗部件(Bellows)和静电容量调整构造部所决定。

1. Bellows寿命※2受使用范围所影响。各规格的Bellows寿命(VH规格是真空寿命)请参照下图。

※2.统计上的半冲程寿命是VH规格1000万周期，VM/VT规格100万周期。

1. 静电容量调整螺丝的寿命是由总转数和总反转数所决定，并被各自的温度和反转速度所大幅影响。各规格的工作次数请参照下图。

1. 真空电容器的寿命请参照下图

2. 使用时请不要超过总转数范围。超过以下条件的使用会使寿命极端低下。如有超过以下条件使用的情况，推荐您使用VH球状版。

• 超过加速度30min-1/ms的高加速度
• 转动范围在数度以下的微动工作
• 超过速度600min-1/ms的高速工作

3. 建议您在每20万转数循环下补充润滑油。真空电容器在同一范围的反复工作可能会使螺丝的接触面的润滑油枯竭或者偏向，由此会造成产品寿命的缩短或者卡位。定期??9??9均匀的补充润滑油可以有效延长产品寿命。推荐您进行全范围的补充润滑油工作。工作范围距离越短效果会越低。长时间不使用真空电容器，或是在长时间存放后使用真空电容器时，建议您补充润滑油。

型号列举

SCV-150.6HA55UW-C

SCV-150.75HA55UW-C

SCV-200.5H55UW-C

SCV-151H55UW-C

SCV-201H55UW-C

SCV-151.5FH55UW-C

SCV-152.5H55UW-

SCV-83.5FH55UW-C

SCV-55FH55UW-C

SCV-85H55UW-C

SCV-310H55UW-C

SCV-510H55UW-C

SCV-415H55UW-C

SCV-125H65UW-C

SCV-155H65UW-C

SCV-810H65UW-C

SCV-1010H65UW-C

SCV-415H65UW-C

SCV-515H65UW-C

VP110

VP150

UW70

SCV-320H65UW-C

SCV-715H70UW-C

FS36S FS36

FS43

FC52

FC52A FC62

FH48C FH65C

FH52WR

FHA52WR

VP94L

SCV-251P94L

SCV-202.2P94L

SCV-153.5P94L

SCV-350.3P110

SCV-351P110

SCV-201.5P110C

SCV-251.5P110C

VP110

SCV-302P110

SCV-202.5P110C

SCV-252.5P110C

SCV-253.5P110

SCV-205P110

VP65

SCV-201P65

SCV-152P65C

SCV-202P65

SCV-152.5P65

SCV-202.5P65

SCV-104P65FW

SCV-124H65FW

SCV-7.55P65FW

SCV-105P65FW

SCV-125P65DW

SCV-255P110

SCV-158P110FW 15

SCV-1510P110W 40

SCV-1051P110W 40

SCV-520P110W 40

SCV-820P110W 40

SCV-325P110FW 15

SCV-340P110W 45

VP82

SCV-155P65DW

SCV-310P65FW

SCV-410P65FW

SCV-510P65W

SCV-810P65W

SCV-315P65DW

SCV-415P65DW

SCV-202P82

SCV-155P82W

SCV-1010P82W

SCV-515P82W

SCV-520P82W

SCV-200.5P82L

SCV-250.8P82L

SCV-201P82L

SCV-251P82L

SCV-201.5P82L

SCV-202P82L

SCV-202.2P82L

SCV-103.5P82LW

SCV-84P82LW

VP150

SCV-405P150

SCV-1525P150W

SCV-560P150W

SCV-202.5P94 25

"SCV-155P94

SCV-515P94" "25

SCV-520P94W 35

SCV-523P94W 45

SCV-150.5

SCV-151

SCV-152

SCV-155G

SCV-152.5

type2

SCV-7.55

SCV-55

SCV-155M

SCV-205G

SCV-510M

SCV-1010G

SCV-514M

SCV-1014G

SCV-204

SCV-1010

SCV-520M

SCV-201.7G

SCV-104G

SCV-300.2G

SCV-250.3G

SCV-250.8G

SCV-151GT

SCV-152.5GT

SCV-155GT

SCV-510GT

SCV-515GT

SCV-150.75GTB

SCV-53GTB

SCF-300.25H48C

SCF-300.5H48C

SCF-300.75H48C

SCF-301H48C

SCF-351H48C

SCF-251.25H48C

SCF-251.5H48C

FHA52

SCV-151HA52WR

SCV-151.5HA52WR

SCV-152HA52WR

SCV-153HA52WR

SCV-125HA52WR

SCV-510HA52WR

SCF-251.75H48C

SCF-252H48C

SCF-151H52WR

SCF-201H52WR

SCF-151.5H52WR

SCF-152H52WR

SCF-202H52WR

SCF-152.1H52WR

SCF-152.5H52WR

SCF-153H52WR

SCF-153.5H52WR

SCF-153.7H52WR

SCF-124H52WR

FH52

SCF-124.5H52WR

SCF-125H52WR

SCF-105.5H52WR

SCF-106H52WR

SCF-106.5H52WR

SCF-107H52WR

SCF-56H52WR

SCF-107.5H52WR

SCF-510H52WR

SCF-810H52WR

SCF-512.5H52WR

SCF-315H52WR

SCF-515H52WR

SCF-317.5H52WR

SCF-320H52WR

FH65C

SCF-350.5H65C

SCF-351H65C

SCF-351.5H65C

SCF-351.75H65C

SCF-352H65C

SCF-352.5H65C

FC52

SCF-150.5C

SCF-151C

SCF-151.5C

SCF-152C

SCF-150.5CA

FS36S

SCF-51S

SCF-51.1S

SCF-51.2S

"SCF-51.3S

SCF-51.4S

SCF-150.8CA

SCF-150.9CA

SCF-51.5S

SCF-52S

FC52A

FC62

SCF-151CA

SCF-151.2CA

SCF-151.5CA

SCF-151.8CA

SCF-152.1CA

SCF-200.1C

SCF-200.5C

SCF-200.75C

SCF-201C

SCF-201.5C

SCF-150.1Z

SCF-150.2Z

SCF-150.25Z

SCF-200.3Z

SCF-150.33Z

SCF-150.4Z

SCF-150.5Z

SCF-150.75Z

SCF-150.8Z

SCF-150.84Z

SCF-150.9Z

SCF-151Z

SCF-151.2Z" 120

SCF-151.3Z 1

SCF-151.4Z 1

SCF-151.5Z 1

SCF-151.8Z 1

SCF-152Z 200

SCF-52.5Z 25

SCF-102.5Z 2

SCF-53Z 300

SCF-103Z 300

SCF-53.5Z 35

SCF-103.5Z 3

SCF-54Z 400

SCF-104Z 400

SCF-55Z 500

SCF-105Z 500

SCF-152.2 22

SCF-152.5 25

SCF-153 300

SCF-56 600

SCF-57 700

SCF-58 800

SCF-59 900

SCF-510 1000

VP94

VP110"

VP82

VP82L VP94L"

VP65"

SCV-510M

SCV-514M

SCV-155M

SCV-520M

SCV-1010

SCV-204

SCV-1010G

SCV-205G

SCV-55

SCV-151

SCV-152

SCV-152.5

SCV-155G

SCV-7.55

SCV-514M  5KV-1400PF

SCV-205G （MWF034）

SCV-204

SCV-520M

SCF-201C

SCF-200。5C

SCF-55Z

SCV-250.8D

SCV-202D

SCF-153

SCV-520M

SCV-514M   5KV-1400PF    

SCV-514M  5KV-1400PF

SCV-7.55

SCF-150.1Z

SCV-152.5

SCV-514M

SCV-151

SCV-155M

SCV-510M

SCV-7.55 (5KV-500pF）

SCV-155M(15KV-500pF)

SCV-205G

SCF-201C

明电舍电容器产品（固定容量和可变容量），所以产品均为全新原装进口产品，常备库存，价格绝对便宜。欢迎大家来电垂询。

联系人：吴先生

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