真空镀膜机INFICON双面镀金晶振片
石英晶体振荡器是利用石英晶体(二氧化硅的结晶体)的压电效应制成的一种谐振器件,它的基本构成大致是:从一块石英晶体上按一定方位角切下薄片(简称为晶片,它可以是正方形、矩形或圆形等),在它的两个对应面上涂敷银层作为电极,在每个电极上各焊一根引线接到管脚 上,再加上封装外壳就构成了石英晶体谐振器,简称为石英晶体或晶体、晶振。
产品适用于光学、光电、LED、半导体等行业的镀膜监控 眼镜、玻璃、光学、通讯、航天等多个领域
商品描述:
镀膜科技日新月异,如何根据不同的镀膜工艺选择最佳的晶振片确实不易。下面建议供大家参考:
1)镀低应力膜料时,选择镀金晶振片
最常见的镀膜是镀Al、Au、Ag、Cu,这些膜层几乎没有应力,在室温下镀膜即可。膜层较软,易划伤,但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜,经验证明,可以在镀金晶振片镀60000埃金和50000埃银的厚度。
2)使用镀银或银铝合金镀高应力膜层
Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢这些材料容易产生高应力,膜层容易从晶体基片上剥落或裂开,以致出现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时,这些情况可以容忍,但在一些情况下,会对蒸发源的功率控制有不良作用。
3)使用银铝合金晶振片镀介质光学膜
MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性,被广泛用于光学镀膜,但这些膜料也是最难监控的,只有基底温度大于200度时,这些膜层才会与基底有非常良好的结合力,所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上,在膜层凝结过程会产生巨大的应力,容易使晶振片在1000埃以内就回失效。
这时候,选用合金晶振片将是最好的选择,将大大减少调频机会。实验室显示,使用合金晶振片监视氟化镁,有效寿命比镀金的长100%。如果把冷却水的温度从20度提高到50度,晶振片的寿命更可以再延长一倍。
使用过程注意事项
1、新的晶振片使用之前应在分析纯中浸泡约1分钟,然后用塑料镊子夹取并用无尘纸或洁净的绸布将分析纯擦拭干净,同时用蘸有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦拭干净,组装晶振片之前用吹气球将晶振片、晶振座及探头的接触弹簧上可能残留的灰尘吹掉,任何晶体和夹具之间的颗粒或灰层将影响电子接触,而且会产生应力点,从而改变晶体振动的模式,晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的表面,去除散落的灰尘。
2、更换安装晶振片时用摄子挟住晶振片的边缘,不要用手指接触晶振片中心,避免留下油渍,否则会降低晶振片的振动能力。
3、晶振座经过多次镀膜后其表面会沉积较厚的膜,如果不将其除去,由于离子轰击产生的反溅射会影响晶振片的测试精度。可以先用喷砂或用打砂纸方法将膜层除去,之后用酒精浸泡5分钟左右,用超声波超声清洗一下,效果会更好,最后再将其放入110℃烤箱中烘烤15分钟,即可使用。
4、在淀积过程中,基频频率最大下降量允许2~3%,约几百KHz。若下降太多,振荡器不能稳定工作,产生跳频现象,如果此时继续淀积膜层,就会出现停振。故晶振片上膜层镀到一定厚度以后,就应该更换新的晶振片。
5、蒸发速率出现明显异常时必须更换晶振片。
6、晶振片的表面明显出现膜脱落或起皮的现象也需更换。
7、保持足够的冷却水使晶振头温度在20~50度范围效果更佳。