1. 特气柜(Gas
Cabinet)
2. 特气柜尺寸：800长×540宽×1800高
3.
PN2入口压力 80PSI，1/4 VCR接口
GN2入口压力 80PSI，1/4 VCR接口
CDA入口压力 4-10bar，1/4卡套接口
VENT 1/2VCR接口
工艺气体出口1/4 VCR接口
4.
特气柜柜体换气量:SiH4-1200次/小时，其余300次/小时
5.
根据实际需要可安装称重、报警、加热装置
6.
按操作方式分为：手动切换、半自动切换。
7.
阀门盘配件全部采用进口电子级材料，材质为SS316L不锈钢。
8.
气体管路及焊接件加工全部采用Swagelok自动轨道焊机焊接。
9.
气体管路设计合理，具备抽空、回充、压力指示、排放、检漏、预留接口等。
10. 完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警）报警信号被触发时，自动切断。
11. 气瓶柜设计美观，紧凑，安全，质优价廉，可按照客户要求定制。
特气柜主要应用在 为MOCVD、PECVD、刻蚀机等设备供应有毒有害易燃易爆气体上，涉及半导体、太阳能光伏、生物工程、微电子、化工等行业。
我们的特气设备有：电子级特气柜(GasCabinet或称钢瓶柜、气瓶柜)，气体流量控制箱(Gas Box by MFC),气体配比箱(Gas Box by FlowMeter)，阀门箱（VMB）,阀门盘（VMP），气体侦测器（GasDetector），废气处理设备(Scrubber)。我们的产品有：美国PARKER调压阀、FPA接头，日本JSK卡套接头，日本FUJIKINVCR接头，高纯KUZE/ASFLOWBA/EP不锈钢管，高纯NKS压力表，气体压力传感器，气体压力开关，高纯Parker/富士金隔膜阀，高纯气体过滤器， 气体质量流量计。
欢迎来电咨询
