1.  材质：SS316L不锈钢结构

2.  品牌：PARKER /FUJIKIN

3.  流量范围：15~300 SLPM

4.  尺寸：1/4至1/2in.

5.  连接方式：VCR，卡套连接

6.   不锈钢气体过滤

7.   超高纯直通型气体过滤器

8.   3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量

9.   去离子水清洗后，热氮气烘干，从而满足半导体工艺标准

10.  对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性

11. 5Ra电解抛光表面防止内污染

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