【湘潭宏锋机械非标定制】ITO导电玻璃镀膜真空磁控溅射生产线​

 ITO（Indium Tin Oxides）作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明​

性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。本镀膜设备是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术，孪生阴极，中频溅射技术，并配以国际先进的控制系统，镀制SO2/ITO膜层，生产过程全部自动，连续进行。ITO膜镀膜生产线技术特点
1) 真空室体材料采用 SUS304 ，真空室内壁进行抛光处理，外壁采用抛光后喷珠处理。
2) 真空室之间采用独立门阀—插板阀隔开，可以实现有效隔断，稳定工艺气体。目前我们公司采用插板阀设计，它比目前国内通用的翻板阀密封效果更好，更耐用。
3) 传动采用磁导向，保障传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动，运行速度可调节。
4) 电气控制系统：触摸屏与 P L C 自动控制，人机对话方式来实现系统的数据

透明导电玻璃在玻璃基片或柔性衬底上，溅射制备SiO2薄膜和掺杂ZnO或InSn氧化物(ITO)薄膜。ITO薄膜最低电阻率接近1025Ω·cm量级，可见光范围内平均光透过率在90%以上。在光学存储领域，光盘存储自推出以来技术不断更新，磁控溅射也从镀制CD2ROM的Al及CD2R的Au或Ag的光反射层，到CD2RW中镀制ZnS2SiO2/GeSbTe(或AgInSbTe)/ZnS2SiO2/Al多层结构光记录媒介膜。
目前随着对光存储的需求大幅度的增加，磁控溅射在光学存储领域将发挥更大的作用。在现代机械加工工业中，表面功能膜、超硬膜，自润滑薄膜的表面沉积技术自问世以来得到长足发展，能有效的提高表面硬度、复合韧性、耐磨损性和抗高温化学稳定性能，从而大幅度地提高涂层产品的使用寿命，应用越来越广泛。