一般項目 | 工作限高 | 50 mm （含）以下 | 工作限重 | 30公斤 | 外型尺寸 | 2200 x 1800 x 1880 (mm) | 機器重量 | 2500 公斤 （含）以下 | ● 適用LCD面板尺寸 最大80寸 | ● 點(3umX 3um), 線(長3umX125um ), 塊 (125um X 125um), (修補放大比率 20倍) | ● 影像拍照、存檔與上傳 | ● 光閘紅光與紅框雙重顯示 | ● 光閘尺寸、鏡頭倍率及雷射功率參數儲存與選用 | ● 開放式XYZ軸光學尺，可精確定位 | ● AOI（TXT）鏈接到驅動器的位置坐標的缺陷 | ● 自動補償影像中心及鏡頭焦距誤差 | ● 檯面正壓吹浮功能及負壓吸附功能 | ● 工作臺具備震動隔離器 | ● 無熔絲保護斷路器保護 | ● 安全設備不尋常的緊急停止 | ● 工作環境溫度 21℃+ / -2℃ | ● 工作環境濕度 55 ± 5％RH |
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| 雷射系統 | 雷射類型 | NEW WAVE Polaris ST ND-YAG. | 波 長 | 1064 / 532 nm 雙波長 | 輸入功率 | 30mJ(532 nm). | 顯微鏡頭 | Mitutoyo VMU-L 4Lens auto-revolver. | 鏡頭 | 5倍(觀察)、10倍、20倍、50倍(修補、LCD專用) | 操作模式 | Auto . | 調整差質 | Within ± 10μm. | 光束模式 | 長型 / 方型及θ角± 45 °旋轉、可調 |
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| 工作平台 | 工作平台尺寸 | 820 mm X700mm | XY軸移動範圍 | 820 mm X750 mm | XY軸移動速度 | over50 mm/second | Z軸移動範圍 | 50 mm | 操作模式 | XYZ 軸四段電控 |
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| 顯像系統 | 電腦系統 | 機架式電腦、影像擷取卡、顯示卡、軸卡 | 顯示器 | 17 吋 LCD 顯示器（含）以上 | 取像機 | CCD watec WAT-221s.NTCS。 | 放大倍率 | 75、364、750、1820. | 光源 | 可調，同軸光源與光班光源及 LED 背光模組 |
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| 乾燥燒結系統 | 1、定影加熱時間和溫度控制 | 2、移動定位自動加熱和乾燥過程 |
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| 氣電規格 | 1、輸入電源：AC單相220V，50 ～ 60HZ，10A | 2、氣壓：6公斤/平方厘米。 |
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