设计小巧・实现低成本高性能
氧化锆式氧气分析仪
Model: LC-300
高性能氧气分析仪LC-300秉承了本公司长期在电子业界的良好销售业绩,从极低浓度到100%的氧气浓度都可以精确测定。(PPM~%)
本仪器搭载了Toray自主开发的小型氧化锆式传感器,使仪器的性能可以满足客户的要求。简便操作并使机器小型化,设备组装节省空间。最适合于各种半导体用途的控制和监测,以及各种试验研究用途和燃烧锅炉的工艺管理。
特 点
● 外形小巧,操作简单
内置Pump,流量固定式旋扭、大型LED显示和各种操作专用键● 传感器组件 组件化变的更小巧● 超高速反应 最小限度抑制待测气体积聚的内部配管流程● 高耐用传感器 感应器内部填充劣化成份吸附剂● 活性炭过滤器交换周期确认便利 采用分圧显示,交换周期一目了然● 4点浓度警报 HH,H,L,LL简便输出功能●付带流量异常信号 可感应流量上/下限,增加了信赖度
测定原理
在氧化锆式传感器两面加上电极,在高温作用下,一面的电极将氧分子离子化,另一面的电极将氧离子转换回氧分子。这种性质(离子电导)的程度,随着氧化锆式传感器两侧氧分压差距而变化。这时,两个电极间进行电子交换,离子电导的程度(氧化锆式感应器两端的氧气分压差)可以从两个电极间产生的电量的大小中,通过Nernst方程式换算得出。
规格:
1.设备规格 |
形 状 | 台式型或面板型 |
表 示 方 式 | 数字4位显示(浓度表示) |
| LED表示棒状(atm表示) |
测 定 范 围 | 0.1ppm~100vol%O2 10-20-10-0atm |
测 定 量 程 | 0-1/10/100/1000ppm/1/10/100% |
| 10-20-10-0atm |
采 样 方 式 | 连续PUMP吸引式 |
采 集 流 量 | 1000~2000ml/min |
SENSOR内部气体量 | 60±10ml/min |
气 体 入 口 | INLET(试料气体入口) Rc1/4 |
| BYPASSOUT(旁通出口) Rc1/4 |
| OUTLET(试料气体出口) Rc1/4 |
比 较 气 体 | 空气 |
重 量 | 约7kg |
涂 装 色 | 抛光黑色 |
2.特 性 |
误 差 | ±0.5%FS(0~1/10/100%)RANGE |
| ±1%FS(0~10/100/1000ppmRANGE |
| (0~1ppm RANGE atm 是保证外) |
空 气 点 安 定 性 | ±1%FS/24hr |
3.技术规格 |
信号输出 | 外部输出;DC4~20mA |
| DC0~10V |
RANGE MARK | BCD,4接点输出接点负载;DC24V,0.3A |
数 位 输 出 | RS-232C基准输出(単方向) |
浓度警报输出 | LED表示(HH/H/L/LL范围) |
| 接点输出;1接点个别输出 |
| 接点负载;AC30V DC24V,3A |
自己诊断机能 | 暖机异常热电对异常机内温度异常 |
| EEPROM异常,RAM异常,炉内温度异常 |
| 流量上限/下限异常,不斉电位异常 |
| SENSOR阻抗値异常,AIR Point校正异常 |
| SPAN Point校正异常 |
试样气体成份要求 | 不含可燃性气体, 卤素气体, SILICON,腐蚀性 ,水滴及粉尘气体成份物质 |
| 压 力;0.03MPa以下的加压 |
| 流 量;1000~2000ml/min |
| 湿 度;周围温度以下的露点 |
电 源 | 电 圧;AC100V(OptionAC200V) |
| 周 波 数;50/60Hz |
设置条件 | 设置场所;屋内 非防爆 |
| 周围温度;0~40℃ |
| 周围湿度;45~85%RH |