基本规格	Excel 654UM Excel 654UC
测量体积	600×650×400mm
外形尺寸	1311×1604×2088mm
重量	1500kg
容量	100kg
床台材质	花岗岩
电源要求	93 - 264VAC,47 - 63Hz,10Amp
X，Y轴精确度	U= 3.0 +L/300μm
Z轴精确度	U= 3.0 +L/150μm
X，Y加速	1000mm/s²
Z加速	500mm/s²
X，Y速度	150mm/s²
光栅尺分辨率	0.1μm
轮廓光，同轴光，表面光	红光LED技术（黑白机种使用）白光LED技术（彩色机种使用）
光学镜头/倍率范围	12 * Opucal/2.5 * Digital Programmable Zoom/15x-1200x
环境	20℃（680F）± 20,30-80％Humidity

Physical	Excel 654UM Excel 654UC
Measuring Volume	600×650×400mm
External Dimensions	1311×1604×2088mm
Weight	1500kg
Capacity	100kg
Base Material	Granite
Power Requirements	93 - 264VAC,47 - 63Hz,10Amp
XY Accuracy	U= 3.0 +L/300μm
Z Accuracy	U= 3.0 +L/150μm
X,Y Acceleration	1000mm/s²
Z Acceleration	500mm/s²
X,Y Speed	150mm/s²
Scale Resolution	0.1μm
illumination Source	Red LEDs
illumination Source	White LEDs
Optics/Magnification	12 * Opucal/2.5 * Digital Programmable Zoom/15x-1200x
Environmental	20℃（680F）± 20,30-80％Humidity