系统：台湾新代系统6MB带扩展。系统分辨率0.005毫米，带模拟显示，定位精度及重复定位精度0.02毫米。
导轨丝杠滑块螺母：台湾上银原装H级30MM导轨及丝杠Z轴FSI级0018级32MM。另外，可以选配凯特30导轨或台湾银泰30导轨。X,Y轴4040研磨丝杠。

驱动器及驱动电机：1300W日本安川伺服,Z轴(带抱闸). Y轴驱动器及电机改为日本安川1800W
减速机:日本新宝行星减速机1:5（3弧分以内）

主轴：意大利9KW主轴。
行程：X轴1300MM，Y轴2500MM,Z轴200MM

真空泵：风冷7.5KW真空泵。
台面：分区的吸附台面带负压腔。

床身尺寸：高约700MM,长3700MM,宽1600MM
整备尺寸：高1700，长3700，宽2000

重量：4000KG
自动注油，大功率四方或富凌9KW变频器，加强型拖链和高柔性拖链电缆，加强型退火处理床身及横梁并进行喷塑磷化，电箱AAA屏蔽抗干扰处理。台湾双排滚珠直线导轨的滑块带法兰，导轨进行免维护处理，机器采用60毫米钢板及8毫米方管焊接，独立电箱，法国施耐德电器，百灵气动，气缸定位，带推料，最大运行速度45M/S。

电压：50HZ380V（具体详细配置参照装箱清单）