测量范围：800mm Y：1500mm Z：600mm
结构类型：移动桥式
分辨率：0.5μm
示值精度：E3 =
(3.0 + L/300) μm
(L单位:mm)
探测误差：R = 3.2μm
机台承重：1000kg
整机重量：2260kg
台面可用尺寸：2210 mm X1030mm
整机尺寸：长2549mm宽：1466mm高：2700mm
传动方式：柔性同步带
驱动系统：直流伺服系统
示值系统：英国Renishaw自粘开放式金属反射光栅尺
工作机台：高精度花岗岩平台（00级）
导轨型式：高精度导轨＋预载荷高精度空气轴承
气源处理：日本SMC
三、设备使用环境条件及工作时间
机室温度： 20℃±2℃
机室温度最大梯度： 1℃/m，1℃/h，2℃/d
机室湿度：60%±5%
供气压力：﹥0.5MPa
空气流量：160 L/min
振动频率范围： 0-19Hz 19-75Hz >75Hz
振动振幅： 0.0011mm 0.0011-0.002mm 0.002mm
电压：220V±10%
频率：50-60HZ
电流：15A
耗电量：﹤800W
备注：用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆
