岛津MSE-3200R 全自动移动式高性能氦质谱检漏仪 主要特点 检出灵敏度：10-12-100Pa m3/s (He)卓越的BG恢复性能和操作性大屏幕液晶显示面板，操作简单分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝（内置两根）搭载大排量的粗抽真空泵，提高了作为通用机应具备的稳定性和可靠性对大泄漏工件也可以进行检漏测试 应用领域 半导体和平板显示器制造LED制造镀膜设备制冷设备和空调的元件及部件低温压力容器
岛津MSE-3200R 全自动移动式高性能氦质谱检漏仪
主要特点
检出灵敏度：10-12-100Pa m3/s (He)
卓越的BG恢复性能和操作性
大屏幕液晶显示面板，操作简单
分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝（内置两根）
搭载大排量的粗抽真空泵，提高了作为通用机应具备的稳定性和可靠性
对大泄漏工件也可以进行检漏测试
应用领域
半导体和平板显示器制造
LED制造
镀膜设备
制冷设备和空调的元件及部件
低温压力容器
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