1、在半导体制造中氧化、扩散、化学气相淀积；
2、某些反应的惰性介质，石墨反应器的热载体；
3、蔬菜保鲜；

4、输送易燃液体的压入气体；
5、标准气，校正气，在线仪表标准气，特种混合气。

高纯液体二氧化碳：

1、冷却剂、焊接保护气、铸造工业、灭火剂，联酸盐类的制造；
2、清凉饮料、氧化防止剂、植物生长促进剂、发酵工业、药品
( 局部麻醉 ) 、制糖工业；
3、杀虫剂、胶及动物胶制造。

理化性质：

分子量：44.01
熔点 (517.97kpa): 一 56.6 ℃
沸点 (101.325kPL
升华点 ):-78.5℃
液体密度 (273.15K,3485kPa):929.5kg/m3
气体密度 (0 ℃，101.325kPa):1.997
kg/m3
相对密度 ( 气体，空气 =1,0 ℃，101.325KPa):1.53
比容 (21.1
℃，101.325KPa):0.547m/kg
气液容积比 (15 ℃，10OKPa):845L/L
临界温度 :31.0℃
临界压力
:7381.5kpa
临界密度 :468kg/m3