一.设备名称:全自动单/多晶硅片超声波清洗设备(1套)
二.设备型号:DW40-09-2B
三.概述:
该设备有自动式上料工位(即工艺流程是:1个纯水超声波清洗槽、1个柠檬酸超声波清洗槽、1个纯水超声波漂洗槽、2个药剂超声清洗槽、3个纯水超声溢流漂洗槽、以及甩干(离线不含)、自动下料工位。
四.用途:清洗单晶硅片,规格为6寸~8寸,在此范围内的硅片均可以按正常工艺要求完成清洗,在合适的清洗剂的配合下,可以清除上述规格尺寸工件中的切割粉尘、未聚合物、指印及其它污垢。
清洗工艺配置
序号 | 工序名称 | 处理方式 | 溢流方式 | 介质 | 温度 | 时间 | 加热功率 |
1#槽 | 超声波清洗机 | 超声波+抛动+鼓泡3000W40KHZ | 单级溢流 | 纯水 | 室温~85℃ | 可调 | 12KW |
2#槽 | 超声波清洗机 | 超声波+抛动+鼓泡3000W40KHZ | 单级溢流 | 药剂 | 室温~85℃ | 可调 | 9KW |
3#槽 | 超声波清洗机 | 超声波+抛动3000W40KHZ | 单级溢流 | 纯水 | 室温~85℃ | 可调 | 12KW |
4#槽 | 超声波清洗机 | 超声波+抛动3000W40KHZ | 单级溢流 | 药剂 | 室温~85℃ | 可调 | 10KW |
5#槽 | 超声波清洗机 | 超声波+抛动3000W40KHZ | 单级溢流 | 药剂 | 室温~85℃ | 可调 | 10KW |
6#槽 | 超声波清洗机 | 超声波+抛动3000W40KHZ | 可三级/单级溢流 | 纯水 | 室温~85℃ | 可调 | 12KW |
7#槽 | 超声波清洗机 | 超声波+抛动3000W40KHZ | 可三级/单级溢流 | 纯水 | 室温~85℃ | 可调 | 12KW |
8#槽 | 超声波清洗机 | 超声波+抛动3000W120KHZ | 可三级/单级溢流 | 纯水 | 室温~85℃ | 可调 | 12KW |
9#槽 | 超声波清洗机 | 超声波+抛动3000W40KHZ | 可三级/单级溢流 | 纯水 | 室温~85℃ | 可调 | 12KW |