管式炉结构

烟囱和烟道：

      其作用是将炉膛的烟气排入大气中，内部均用耐火和保温材料衬里。为调节烟气排除速度，还装有可活动挡板。烟气流动为上抽式的加热炉烟囱安装在对流室上部；烟气流动为下行式的加热炉，烟囱安装在炉侧，并设有烟道。

  吹灰器：

       其主要作用是防止积灰，尽量保持炉管表面始终干净，用以强化对流管的对流传热，提高炉的热效率。炼厂应用的吹灰器有自动伸缩式和固定旋转式两种。

反应室中的反应是很复杂的，有很多必须考虑的因素，沉积参数的变化范围是很宽的：反应室内的压力、晶片的温度、气体的流动速率、气体通过晶片的路程(如图所示)、气体的化学成份、一种气体相对于另一种气体的比率、反应的中间产品起的作用、以及是否需要其它反应室外的外部能量来源加速或诱发想得到的反应等。额外能量来源诸如等离子体能量，当然会产生一整套新变数，如离子与中性气流的比率，离子能和晶片上的射频偏压等。

然后，考虑沉积薄膜中的变数：如在整个晶片内厚度的均匀性和在图形上的覆盖特性(后者指跨图形台阶的覆盖)，薄膜的化学配比(化学成份和分布状态)，结晶晶向和缺陷密度等。当然，沉积速率也是一个重要的因素，因为它决定着反应室的产出量，高的沉积速率常常要和薄膜的高质量折中考虑。反应生成的膜不仅会沉积在晶片上，也会沉积在反应室的其他部件上，对反应室进行清洗的次数和彻底程度也是很重要的。

管式加热炉的余热回收系统包括哪些方面？

答：包括余热锅炉、空气预热器、鼓风机、引风机、烟风道及其调节和截断用蝶阀等,如图8所示。

什么叫燃烧器？燃烧器的组成和种类有哪些？

答：燃烧器是一种将燃料和空气按照所需混合比和流速在湍流条件下集中送入炉内，确保和维持点火及燃烧条件的部件。燃烧器通常由燃料喷嘴、配风器和燃烧道三个部分组成。燃烧器的种类有燃油燃烧器、燃气燃烧器和油-气联合燃烧器。