真空多弧离子镀膜机是当今世界上用于表面涂装PVD膜层的专用设备,运用PLC及触摸屏实现自动化逻辑程序控制操作,设备结构合理、外观优雅、性能稳定、操作达到人机对话,简便,镀出的膜层牢固且细密,是工业化生产的理想设备,其最大特点是它的环保性,真空镀膜设备属于无三废、无污染的清洁生产设备,无须环保部门审批。
光学真空镀膜机主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限及电柜两部分组成,其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学真空镀膜设备在防止油污染和缩短工作周期等方面具有卓越的性能。
光学真空镀膜机工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度,材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大,蒸发出来的蒸汽分子向四处直射,碰到基片就沉积在基片表面形成腊层。
当真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。具体操作是:首先用烧碱(NaOH)饱和溶液反复真空镀膜设备擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢即可。