一、双管扩散炉用途

北京晶伏华控电子设备有限公司生产的双管扩散炉、管式扩散炉、双管微控扩散炉、双管程控扩散炉、双管高温扩散炉、双管微控太阳能扩散炉专用于在实验室中对太阳能电池方片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺，具有工艺稳定，自动化程度高等特点。

1、外型形式：卧式双管结构（立式、卧式自选，1-4管可定制）
2、加热方式：电阻丝（瑞典KANTHAL）
3、恒温区长度：400mm
4、工艺管：优质气炼石英管，配石英管清洗槽
5、石英舟：单次可装载20片2.5cm×2.5cm方形硅片，背靠背装片模式
6、硅片尺寸：厚度为200μm左右，2.5cmX2.5cm方片
7、送、取片方式：熔凝石英推拉杆，手动将石英舟推入、拉出石英管送、取片
8、扩散方式：配置2套恒温源瓶，支持液态扩散方式
9、温度控制：日本原装RKC控温仪，三段控温技术
10、工作温度范围：400-1250℃
11、恒温区精度： ±0.5℃ 
12、单点温度稳定性、重复性：±0.5℃ 
13、升温斜变能力：额定可控升温速率：18℃/min， 额定可控降温速率：5℃ /min
14、升温功率：≤15KW/管
15、气路系统：质量流量计+PLC控制，上下两管共配有大N2、小N2、O2、 H2四路工艺气体，通过阀门切换供上管或下管使用。
16、气路系统气密性：1×10-7 Pa·M3/S
17、控制系统：PLC+触摸屏自动控制整个工艺流程, 自动/手动方便切换,温度和气流随时间变化的单独控制
18、尾气处理：设备配有尾气处理系统
19、电源：三相五线380V、50Hz

北京晶伏华控电子设备有限公司定制：双管扩散炉、三管扩散炉、四管扩散炉、全自动扩散炉、焊接炉、可控硅焊接炉、烤盘炉、真空焊接炉、快速退火炉、快速热处理炉、RTP快速热处理炉、CELL焊接炉、非晶退火炉、非晶带材退火炉、连续式退火炉。