INFICON BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计贝阿德-阿尔珀特皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 为经济实惠且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S，以经济高效的方式执行基本压力测量。 传感元件带有板载校准数据，可在更换传感器时确保高再现性。
BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计益处测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）
- 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
- 皮拉尼联锁保护单丝，防止过早烧毁
- 两根使用寿命长的氧化钇铱丝
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
- 易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
- RoHS 合规
BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计选型：
零件号BPG402-S零件号说明353-570353-571353-572353-573353-574353-575353-576353-577353-578
|
|
| BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| BPG402-S 真空计 |
| BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| BPG402-SD 型真空计 |
| BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
附件
BPG402-S零件号说明353-511353-512211-113|
|
| BPG400 24V电源 |
| Baffle for BPG400 |
| Centering ring with baffle DN 25 KF |
备件BPG402-S零件号说明354-494354-495
|
|
| BPG402 感应器 |
BPG402 Spare measurement system DN40CF-R
|
