产品概述
INFICON HPG400高压热电离皮拉尼真空计将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个体积小、价格低的规管中，可测量 2×10-6 毫巴至大气压（1.5×10-6 托至大气压）范围内的压力。 HPG400高压热电离皮拉尼真空计提供高可重复性和再现性压力测量，精确控制溅射过程。
HPG400高压热电离皮拉尼真空计益处
- HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统安装与设置的复杂性
- 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10-5 … 1 毫巴范围内的压力，进而改善过程控制
- 用户可选的热离子发射在 5×10-2 至 1 毫巴之间启动
- 皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
- RoHS 合规
HPG400高压热电离皮拉尼真空计典型应用
- 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
- 工业镀膜
- 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制
HPG400高压热电离皮拉尼真空计选型指南：
HPG400零件号说明353-520353-521353-522353-523353-525353-526353-527353-528
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| 皮拉尼真空计 |
| HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
| HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
| HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F |
| HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
附件HPG400零件号说明211-113353-511
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| Centering ring with baffle DN 25 KF |
| BPG400 24V电源 |
备件HPG400零件号说明354-487354-488
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| HPG400 备用传感器 |
HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F
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