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供应英福康SKY电容膜片真空计CDG025D-X3
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100
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产品属性
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品牌
INFICON
型号
CDG025D-X3
类型
真空规
测量范围
13...133322Pa
适用范围
半导体制造设备用于刻蚀,CVD,PVD,ALD
加工定制
外形尺寸
116.8*55*33.8㎜
重量
0.33kg
精度
0.2%
分辨率
0.003% F.S
响应时间
30毫秒
工作温度
+5...+50°C
电源电压
+14...+30 V
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