SKY AllCeramic CDG025-C全部暴露于真空的表面是由超纯氧化铝陶瓷构成的,取代常规CDG中的不锈钢管材料。本产品适用于必须避免金属污染的应用中。
优势:
1、无金属污染
2、微小的零点漂移
3、真正的抗腐蚀--长的传感器寿命减少停机时间从而降低拥有成本
4、长期运行中卓越的精度和再现性
5、更好的长期温度稳定性
6、对频繁接触大气不敏感,可省略隔离阀(取决于操作模式)
7、由于增强的粒子防护层(Suprashield),对微粒和过程副产物不敏感
应用:
1、刻蚀,CVD和PVD过程
2、用注入或扩散过程渗杂硅
3、氧化
4、创建阻断层(Ti,TiN,Ta和TaN,作为硅与铝或铜之间的保护层
广州灵帕机电科技有限公司是一家新兴的高科技公司,深耕真空行业20年,专业从事真空、检漏领域的产品应用开发,有较强的真空理论基础和丰富的实践经验。熟悉真空获得和检漏在各工业领域的应用,拥有管理完善、技术成熟,经验丰富的团队,可为真空应用、真空检漏领域的客户提供满意的产品和服务。 本公司有从事真空行业20多年的专家,有从事机械行业十几年的资深机械设计人员,有经验丰富的自动化控制、计算机软硬件开发的专业技术人员,有机器人二次开发及应用的专业技术人员和互联网云储存、云计算的技术专家。 本公司是 Inficon 和 Leybold 最信任的合作伙伴。 凭借在真空和氦检漏领域扎实的技术基础、丰富的专业知识和多年的应用经验,我司成功设计了管板式换热器氦检漏系统专用的多芯电气动夹具,获得国家发明专利(ZL201010216901.6),这一具有独立知识产权的技术已成功地应用在对检漏要求极高的领域,完成了多个蒸发器管板焊缝的检漏任务,大大提高了生产效率。 在太阳能应用领域,我司工程师具备硅单晶生长、硅多晶铸锭的技术背景,熟悉硅晶体生长工艺,早在2006年,公司参与了国内用于金属硅提纯炉的设计,设计中将世界顶级品牌德国莱宝的单级旋片泵和罗茨泵组成的真空机组应用在多晶硅提纯、铸锭领域,并成为德国莱宝真空产品在多晶铸锭领域的代理商。
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