英福康B-A型真空计INFICON BAG402：

BAG402 中真空至超高真空真空计：

INFICON 的单一 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402，测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性 和长使用寿命。

益处：

• 测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）
• 出色的可重复性，在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%
• 过压检测保护，防止灯丝烧毁
• 两根长寿命氧化铱灯丝
• 发射电流选择，降低控制的繁琐
• 植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性，并且易于更换
• 符合RoHS

• 半导体工艺和传送腔室的压强测量
• 工业镀膜
• 从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制

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