功能詳細 偏差识别因搭载个别XYZ补正功能,因此可对涂布位置的整体XYZ轴及每块基板进行补正设定。可测量未接触的基板高度。自动补正针头前端和基板之间的距离。在基板高度不平整的情况下也可实现精密涂布。
●测量基板高度
●测量尖端高度
根据接触式传感器和摄像头的画像识别功能,可实现针头与摄像头间的XYZ间距补正并进行精密涂布。 摄像头根据样品涂布结果处理,防止对不要的基板进行涂布,以免造成材料浪费。良品案例在摄像头有画像记录的情况下,不良基板不会进行涂布。
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