MPG40x 大气压至超高真空真空计
INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空计测量，范围范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压（3.8 x 10-9 托至大气压）。 将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中，极大降低了安装、设置和集成的复杂性。
益处- Direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters
- 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
- 测量范围广，从 5 x 10-9 毫巴到大气压
- 不会出现单丝烧毁的现象
- 卓越的点火属性
- 易于清洁
- FPM 或金属密封馈入装置
- 高压 LED 指示灯
- 对数模拟输出信号
典型应用- 高真空压力监控
- 蒸发系统和溅射系统的基本压力
- 中高真空范围内的一般真空测量和控制
类型| MPG400 FPM sealed |
| 精度 (N2) | |
| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±30% |
| 可重复性 | |
| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±5% |
| 安装定位 | | any |
| 容许压力 | bar (absolute) | ≤10 (limited to inert gases) |
| 容许温度 | |
| 运行（环境） | °C | +5 … +55 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 |
| 烘烤 (1) | °C | 150 |
| 单丝温度（皮拉尼） | °C | 120 |
| 电源电压 | |
| 真空计上 | V (dc) | +15 … +30 |
| 缆线最长的电源装置 (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| 波纹 | V (p-p) | ≤1 |
| 功耗 | W | ≤2 |
| 可连接的保险丝 | AT | ≤1 |
| 输出信号（测量信号） | |
| 电压范围 | V | 0 … +10.5 |
| 测量范围 | V | +1.82 … +8.6 |
| 电压与压强 | | logarithmic, 0.6 volts per decade |
| 错误信号 | |
| 无电源 | V | <0.5 |
| 皮拉尼传感器，单丝断裂 | V | >9.5 |
| 输出电阻 | Ω | 2 x 10 |
| 最小负载电阻 | kΩ | 10, short-circuit proof |
| 反应时间 | |
| p > 10-6 毫巴 | ms | <10 |
| p = 10-8 毫巴 | ms | ≈1000 |
| 识别真空计 | | 85, referenced to supply common |
| 状态 | |
| 仅皮拉尼模式 | V | 0 (low) |
| 复合皮拉尼 / 冷阴极模式 | V | 15 … 30 (high) |
| LED | LED green | high voltage on |
| 电气连接 | | FCC 68 appliance connector, 8 poles, female |
| 传感器电缆 | | 8 poles plus shielding |
| 电缆长度 | m | ≤50 (8 x 0.14 mm2) |
| 运行电压 | kV | ≤3.3 |
| 运行电流 | µA | ≤500 |
| 暴露于真空的材料 | | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W |
| 内部容积 | cm³ | ≈20 |
| 重量 | |
| DN 25 ISO-KF | g | ≈700 |
| DN 40 ISO-KF | g | ≈720 |
| DN 40 CF-F | g | ≈980 |
| 保护类别 | | IP 40 |
| 标准 | |
| CE 合规 | | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |
