操作方式

针对实验室的使用要求，装卸料采用间歇式手动装、卸料。装料时将料盒放置在料盆支架上，打开并取出炉管一端的密封端盖，放入带料盒的料盒支架，再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。然后通入工艺气氛，直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。产品烧结工艺完成后，应继续通人小量的工艺气氛并进行降温，直到炉内温度低于工艺要求时，方可打开炉管密封端盖取出产品。

　目前，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。

　　除了上述几种模式的PECVD系统外，美国的Applied

Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，另外沉积速率很高。

如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类：

　　■ 0 Hz：直流间接法——OTB公司

　　■ 40 KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控溅射系统

　　■ 250 kHz：岛津公司的板式直接法系统

　　■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法

　　■ 460 kHz：Centrotherm公司管式直接法

　　■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统

　　■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。

管式加热炉炉管管内流速的选择：对于气、液混相的炉管内，流速的低限是必须保证流型符合要求，以避免局部过热，流速的上限是临界流速（即该状态的声速）。

(流速加大时，介质停留时间短，减少结焦分解的危险，还可以增加传热系数；但过大流速，压力降(与流速平方成正比)会变得大造成不必要的能量损失，甚至不满足工艺要求。一般最.大流速为临界流速80%-90%)