方法的优缺点比较

　　各种方法都有其有缺点：从大的方面讲，直接PECVD法对样品表面有损伤，会增加表面少子的复合，但是也正是由于其对表面的轰击作用，可以去除表面的一些自然氧化层，使得表面的杂质原子得到抑制，另外直接法可以使得氢原子或氢离子更深入地进入到多晶硅晶界中，使得晶界钝化更充分。

　　使用不同频率的PECVD系统，也各有一定的优缺点：

　　（1）频率越高均匀面积越小，越难于达到大面积均匀性。

　　（2）频率越低对硅片表面的损伤越严重。

　　（3）频率越低离子进入硅片越深，越有利于多晶硅晶界的钝化。

管式气氛电阻炉主要运用于冶金，玻璃，热处理，锂电正负极材料，新能源，磨具等行业测定材料在一定气氛条件下的专业设备。

优点：工艺成熟;炉型结构简单；操作容易，便于控制，能连续生产；乙烯、丙烯收率较高，产物浓度高；动力消耗少，热效率高；裂解气和烟道气的大部分可以设法回收；原料的适用范围随着裂解技术的进步而日渐扩大；可以多炉组合而大型生产。

管式加热炉主要类型简介：

         按炉体形状划分，可以分为:箱式炉、立式炉、园筒炉和无焰炉等。

1、箱式炉有斜顶炉和方箱炉，这种炉型历史悠久，是应用较早的炉型。其长、宽、高大致接近，辐射室和对流室用火墙隔开，火嘴装于侧壁，烟囱设于炉外，炉管水平排列。

2、立式炉炉膛为长方形，辐射管排于炉两侧，对流管排在辐射室上部的对流室中，炉底部设有两排火嘴，炉中间砌一堵花墙，喷火嘴在花墙两边燃烧。

3、圆筒炉与立式炉相似，方型的对流室位于辐射室上部，烟

囱安装在对流室的上部，并装有烟道挡板，可调节风量，火嘴在炉底中央，火焰向上喷射。其与立式炉不同的是辐射室为圆筒式，辐射管沿圆周垂直排列成一圈，对流管分立式和水平两种。

4、无焰炉其外型与立式炉相似，炉中间排辐射管，顶部排对流管，两侧炉墙布满火嘴，燃烧的速度快，在燃烧道里完成燃烧的全部过程，因此没有火焰。