方法的优缺点比较
各种方法都有其有缺点:从大的方面讲,直接PECVD法对样品表面有损伤,会增加表面少子的复合,但是也正是由于其对表面的轰击作用,可以去除表面的一些自然氧化层,使得表面的杂质原子得到抑制,另外直接法可以使得氢原子或氢离子更深入地进入到多晶硅晶界中,使得晶界钝化更充分。
使用不同频率的PECVD系统,也各有一定的优缺点:
(1)频率越高均匀面积越小,越难于达到大面积均匀性。
(2)频率越低对硅片表面的损伤越严重。
(3)频率越低离子进入硅片越深,越有利于多晶硅晶界的钝化。
管式气氛电阻炉主要运用于冶金,玻璃,热处理,锂电正负极材料,新能源,磨具等行业测定材料在一定气氛条件下的专业设备。
优点:工艺成熟;炉型结构简单;操作容易,便于控制,能连续生产;乙烯、丙烯收率较高,产物浓度高;动力消耗少,热效率高;裂解气和烟道气的大部分可以设法回收;原料的适用范围随着裂解技术的进步而日渐扩大;可以多炉组合而大型生产。
管式加热炉主要类型简介:
按炉体形状划分,可以分为:箱式炉、立式炉、园筒炉和无焰炉等。
1、箱式炉有斜顶炉和方箱炉,这种炉型历史悠久,是应用较早的炉型。其长、宽、高大致接近,辐射室和对流室用火墙隔开,火嘴装于侧壁,烟囱设于炉外,炉管水平排列。
2、立式炉炉膛为长方形,辐射管排于炉两侧,对流管排在辐射室上部的对流室中,炉底部设有两排火嘴,炉中间砌一堵花墙,喷火嘴在花墙两边燃烧。
3、圆筒炉与立式炉相似,方型的对流室位于辐射室上部,烟
囱安装在对流室的上部,并装有烟道挡板,可调节风量,火嘴在炉底中央,火焰向上喷射。其与立式炉不同的是辐射室为圆筒式,辐射管沿圆周垂直排列成一圈,对流管分立式和水平两种。
4、无焰炉其外型与立式炉相似,炉中间排辐射管,顶部排对流管,两侧炉墙布满火嘴,燃烧的速度快,在燃烧道里完成燃烧的全部过程,因此没有火焰。