D07-15/D07-15A
质量流量控制器(MFC)、质量流量计(MFM)属于一种工业自动化仪表， D07系列MFC/MFM为模拟量程，具有不因温度和压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点。
用途
D07量热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。
特点
1、高稳流型，模拟电路，橡胶密封；
2、常闭式电磁调节阀门；
3、金手指电插头。
应用领域
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
核心技术参数
项 目 | D07-15 | D07-15A |
流量规格 | （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500） SCCM ( 0~1，2，3，5) SLM |
准确度 | ± 1 % F.S. |
线性 | ±0.5 % F.S. |
重复精度 | ±0.2 % F.S. |
响应时间 | ≤4 sec |
工作压差范围 | （0.1 ~ 0.3） MPa |
耐压 | 3 MPa |
工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V （输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA） |
电源 | +15 V 50 mA -15 V 200 mA |
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