CS200A 数字式气体质量流量控制器
产品型号:CS200-A型
产品系列:CS系列数字式质量流量控制器
产品类型:高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
型号 | CS200-A |
阀类型 | 常开(流量规格≤30SLM) 或常闭 | 无 |
流量规格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM |
准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
线性 | ±0.5% F.S. |
重复精度 | ±0.2% F.S. |
响应时间 | ≤ 1sec |
工作压差范围 | 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM 0.2~0.45MPa 30<流量规格≤50SLM | <0.02 MPa |
温度系数 | 零点: ≤±0.05% F.S/℃; 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM; 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格>30SLM |
耐压 | 3MPa |
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He |
密封材料 | 氟橡胶; |
工作环境温度 | (5~45)℃ |
输入信号 | 数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA | 无 |
输出信号 | 数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA |
零漂 | 在没有零点校正时<0.6%F.S/年 |
电源 | ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极) |
表面化学成分 | 常态 |
表面粗糙度 | 25 Ra |
标准接头形式 | 双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3; 双卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头; φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;A 型密封接头; |
电源接头形式 | D型9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头 |
重量 | 1 Kg | 0.8K g |
型号 | CS200-A |
阀类型 | 常开(流量规格≤30SLM) 或常闭 | 无 |
流量规格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM |
准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
线性 | ±0.5% F.S. |
重复精度 | ±0.2% F.S. |
响应时间 | ≤ 1sec |
工作压差范围 | 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM 0.2~0.45MPa 30<流量规格≤50SLM | <0.02 MPa |
温度系数 | 零点: ≤±0.05% F.S/℃; 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM; 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格>30SLM |
耐压 | 3MPa |
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He |
密封材料 | 氟橡胶; |
工作环境温度 | (5~45)℃ |
输入信号 | 数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA | 无 |
输出信号 | 数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA |
零漂 | 在没有零点校正时<0.6%F.S/年 |
电源 | ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极) |
表面化学成分 | 常态 |
表面粗糙度 | 25 Ra |
标准接头形式 | 双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3; 双卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头; φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;A 型密封接头; |
电源接头形式 | D型9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头 |
重量 | 1 Kg | 0.8Kg |
注意 :
气体质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为:温度 —— 273.15K ( 0°C );
气压 —— 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子 MFC/MFM 产品中心,单位 SCCM 和“mL/min,0°C,1atm”等同,单位 SLM 和“L/min, 0°C,1atm”等同。
F.S. (Full Scale):满量程值;S.P.(Set Point): 设定点值
联系电话;0371-60308298
手机、微信;152 8682 6848
QQ;760625767
联系人;李工