一、 外表面真空电弧离子镀膜设备

  设备的技术指标描述：

  （1）抽真空速率：抽至5×10-3Pa时间小于30min。

  （2）漏率：从6×10-4 Pa降到5×10-1Pa ≥ 0.5小时。

  （3）真空系统配置：分子泵和机械泵

  （4）真空系统测量：自动真空控制仪，三点测量，一路高真空，两路低真空。

  （5）真空系统操作：手动/半自动（PLC控制）。

    外表面阴极弧源组件：该组件由外冷却水套、内水冷管、真空密封圈、F4绝缘组件、六极靴高磁强钕铁硼永磁体、非磁不锈钢辅助阳极、耐压30KV高功率引弧脉冲绝缘子等组成。

该设备集成了多种先进的等离子体发生装置

    外表面真空电弧离子镀膜主要用于工具镀，零件的硬质涂层、自润滑涂层等。提高了工件的使用寿命，达到节能、环保、减低生产成本及替代水镀的特点，是当今急需大力的技术。

   二、设备控制系统

   工控机及 PLC 控制器1 套，可程序控制设备自动运行，也可切换到手动/半自动运行，由PLC 进行总体控制，可程序控制设备自动运行，也可切换到手动/半自动运行，可控制分子泵、机械泵、插板阀、电磁阀、真空度、开关及互锁；水压报*、烘烤、样品台转动开关及转速、靶电源开关及电流调节，气体开关及流量调节等。