晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
张家港晋宇达电子科技有限公司是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
光刻机/紫外曝光机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.
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光刻注意事项给出如下:
曝光
曝光是通过具有所要图形的模版,将图形传递到胶模上。光源一般采用汞灯或汞氙灯,所发光波长为紫外。对于正胶来说,曝光使得透光区的大分子链被破坏,显影的时候这部分被去除;而对于负胶来说,曝光使得透光区的小分子发生交连,显影时这部分被保留。所以正、负胶对于同一块模版来说,所刻出的图形是互补的。