变压吸附制氮装置主要组成部分：空压系统、净化系统、吸附系统、缓冲系统。

1) 空压系统：

原料空气经压缩机压缩至所需压力，输入空气缓冲罐，为制氮装置提供压缩气源。

2) 净化系统：

从空气缓冲罐出来的压缩空气首先经过高效除油器旋风过滤除去大部分油、水、尘埃后，进入冷冻式干燥机，通过换热降温使压缩空气的露点低于-23℃，除去大量的水分，再经精密过滤器进一步过滤，使含油量≤0.1ppm，含尘量≤0.1μm，最后经过催化净化器除去酸、碱性等有害气体及微油雾。

3) 吸附系统：

经净化处理后的压缩空气首先通过空气储罐后，送入填装吸附剂(碳分子筛)的A、B(大设备为四塔，分两组同时运行)吸附塔。压缩空气由A塔底端进入，气流经底部磁球扩散以后，均匀进入吸附剂层，O2、H2O及少量N2被吸附，产品氮气从出口流出。经过一段时间，当A塔吸附饱和后，二塔均压后切换工作，B塔吸附，A塔放空减压(至常压)，同时一小部分产品氮气回吹冲洗，脱除所吸附的杂质组分。二个吸附塔交替循环吸附和再生，连续输出产品氮气。

4) 缓冲系统：

从吸附系统出来的氮气送入氮气缓冲罐，再经过精密过滤器除尘(过度精度≤0.01μm)，通过调压阀调节压力、节流阀调节流量后输出。同时由流量计和氮气分析仪分别检测氮气流量与纯度，确保产出合格氮气。