晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
光刻注意事项给出如下:
曝光
曝光是通过具有所要图形的模版,将图形传递到胶模上。光源一般采用汞灯或汞氙灯,所发光波长为紫外。对于正胶来说,曝光使得透光区的大分子链被破坏,显影的时候这部分被去除;而对于负胶来说,曝光使得透光区的小分子发生交连,显影时这部分被保留。所以正、负胶对于同一块模版来说,所刻出的图形是互补的。
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。由于我们的客户遍布全国各地,我们有专业的设备存储,运输及调试的一条龙服务团队。
高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。
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光刻注意事项给出如下:
前烘
前烘的目的是去除胶模中的绝大部分溶剂,增强胶模的光敏性。还可以改善胶模的均匀性和黏附性。前烘温度不高,一般为100℃左右。