平行光曝光灯

超高压短弧灯(平行光灯)高功率高功率的超高压短弧灯主要由2KW至10KW，有效地活用了365nm~436nm这一范围的波长。这类灯型乃主要应用于PCB、LCD及PDP等工业，能有效地应对基板的大型化及型材的细微化等需求。低功率我们有从100W至1000W的低功率超高压短弧灯。这种灯种有效地应用了波长为DeepUV~436nm的光谱，被广泛地应用为半导体工业的点光源。PC-5000MF PC-5000CSN PC-5000MFN　PC-5002RC PC-5000CBT PC-5001MFNDPC-500。

平行光曝光灯

DNK-5KW(用于Dai Nippon Kaken曝光机)

USH-1000KS和USH-1005D，

BMO-1002DF,

KXM2000DK,

KXM2001DK,

USH-2004MB,

HSA2002-30341,

AHD3000MFN,

DNK-3.5KW(用于Dai Nippon Kaken曝光机)

PC-3500SG(用于HAKUTO曝光机)

USH-3500MR,

USH-3501FN,

USH-3502DK,

USH-3502MA,

KXM3511DK,

美国ORC曝光机，(PC-5000MF用于欧特玛曝光机)

PC-5001CSN(用于志圣曝光机)

平行光曝光灯

PC-4500CIL曝光灯、日本USHIO平行光曝光灯。短弧***氙灯,又名平行光曝光灯.功率主要有5000w,3000w,8000w等,用途最广泛的是5000w平行曝光灯.球形高压短弧***氙灯

英文名称是mercury xenon short arc lamps

该灯光谱范围主要在325nm~450nm之间，是在高压***蒸气中产生电弧发光的短弧灯，此类灯管具有高 辐射 、多线光谱 、在紫外光区有较高的辐射能量 、寿命长、高光学质量等优点，适用于全自动曝光系

统和半导体生产光刻。

主要规格型号：日本ushio系列型号有:pc-5001cbt,pc-5001csn,pc-5001cbtl,pc-5001csnl,pc-5002rc,pc-5002ad,pc- 5001ta;pc-5000mf,pc-5000sg、pc-3500sg；、同时还有点光源平行光曝光灯：型号有：ｓｕｖ-1003ｆａ；ｕｖｌ-3500ｓｉ；ｕｓｈ-5000ｍｇ，uxm-5000ta、ush-3502ma，ush-2004mb、hsa－2002－30341

美国orc型号有:hvf-5001cbt/r,hvf-5001csn/r,hvf-5000mfn/r,hvf-5002ad/r。