1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线，为机床的修正提供可靠依据。

2.激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、 平行度、垂直度等形位误差，在现场使用尤为方便。

3.激光干涉仪可方便地安装在测长机上，取代原测长机的坐标系统，作为一般计量室中的长度基准。

4.激光干涉仪又是一种高精度的位移传感器，可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统，使定位精度大为提高。

5.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作。

6.激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高精度长度—角度比相计，可作为机床传动链，丝杆螺旋线等误差的测量系统。