仪器特点
★ 高精密花岗石底座和立柱
★ Z轴全自动,提高产品对焦速度,满足0.003u对焦测量高度,
★ 外形设计美观,功能设计更为人性化
★ 光杆传动,移动流程,定位准确,运行更平稳
★ 进口直线导轨架设在00级大理石台面上,保证导轨的运行精度
★ 新版手动CNC软件,界面友好,操作简单,稳定性强
★ 可增加探针测量模组
型号 | VME250 | VME300 |
工作平台尺寸(mm) | 300*230 | 420*300 |
测量行程(mm) | 250*200*200 | 300*200*200 |
全机尺寸(mm) | 140*650*1250 | 1400*650*1350 |
机台重量(KG) |
| 430 |
镜头 | 手动定位镜头或全自动NAVITAR变焦镜头 |
放大倍率 | 光学放大倍率:0.7X-4.5X,影像放大倍率:28X-145X |
CCD | 高清晰彩色1/2 CCD(可选配220万像素CCD) |
灯源 | 上表面灯:分区控制40相灯 白色;下轮廓灯:LED近平行光灯 白色 三基色可选(白、红、绿) 控制方式:软件控制 |
光学尺解析度(μm) | 1(0.5可选) |
X、Y轴精度(μm) | (2.8+L/250) |
X、Y轴重复性(μm) | 2 |
机台承重(kg) | 30 |
机台底座和立柱材质 | 高精度花岗岩 |
操作方式 | 手动+半自动 |
传动方式 | 光杆传动 |
马达控制方式 | Z轴智能一体化控制(鼠标) |
最大运行速度(mm/s) | Z轴:100 |
加速度 | Z轴:200 |
软件 | OPTOC MFPRO |
保修期 | 一年 |
使用环境 | 电源:110v-220v±10% 50/60Hz,温度:20±5℃,湿度:45%-75%
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环境要求:- 标准环境温度:18 - 22℃
- 环境温度变化:1℃/h - 2℃/24h
- 温度梯度:1℃/m
- 相对湿度:55% - 65%
供气要求:- 空气压力:0.4 - 0.5Mpa
- 空气流量:150NL/min
- 过滤精度:0.3μm
电源要求: