电荷耦合器件(chargecoupledevice, CCD)是一种特殊的半导体器件和新型的固体成像器件。CCD由一系列排列紧密的MOS电容器组成,其突出特点是以电荷作为信号 [2] 。CCD芯片上有许多光敏单元,它们 可以将不同的光信号转换成电荷输出, 从而形成对应原始光图像的电荷图像。当被测工件放置在线阵CCD前端时,光学系统会把被测工件成像在CCD的光敏面上。在CCD驱动信号的作用下, 被测工件与背景在光强分布上的变化被反映在CCD输出的视频信号中。
现代工业生产的发展对工件直径、表面轮廓、几何 尺寸的测量提出了新的要求。传统的接触式测量方法存在其固有的局限性,往往在环境恶劣的条件下存在难以使用、生产线上难以实现动态在线测量、人为读数导致测量精度低等问题。因此,非接触测量方法越来越受到业界的普遍关注。现有的非接触测量方法存在自动化和智能化程度低的弊端,研究高精度、高速度、自动化、智能化、小型化的直径测量系统已成为非接触测量领域技术人员的研究重点.
CCD电路设计 2.2.1 CCD选择 工程测量中, CCD器件选择的主要依据是测量精度和测量范围。为了获得图像细节,必须要保证CCD的空间分辨率。按照采样定理的要求,如果已知图像的特大的空间频率(即每毫米的线数), 则抽样频率应大于图像特大空间频率的2倍。例如,设图像的特大空间频率为每毫米40条线数,则抽样频率应大于或等于每毫米80条线数,对应的抽样尺寸(分辨率)为1/80=12.5μm。我们应根据所求得的抽样尺寸选择CCD器件。CCD的抽样尺寸即为所要求的CCD的像元尺寸。若CCD的像元数为N,则其所能测量的特大尺寸也就确定,即为(N×像元数)/β,其中β为光学系统的放大率。 此外,还要保证图像的亮度值处于CCD器件的转换特性允许的动态范围之内,确保转换后的图像信息不失真。如果光学图像亮度值在时间坐标上还有变化(即动态测量),则图像亮度对时间的变化上有一个特高截止频率。按照采样频率定理, CCD在时间坐标上对光学图像的采样频率应保证大于或等于图像特高截止频率的2倍。由此可以确定允许的CCD光积分时间和计算机对信息采集的时间。为保证被测信号的质量,实际采样频率取被测信号特高频率的3~4倍,有时甚至取到10倍。 CCD的像元是由光敏材料制成的。由于材料本身的性能所限,在光电转换时,CCD的各像元存在响应非均匀性和单个像元响应的非线性问题,这都将对测量精度产生影响。因此,选择器件时,应选用响应非均匀性低和线性度好的器件。