应用简介:

      可用于以三氯甲硅烷（MTS）为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。

   技术特征：

◆ 本化学气相沉积炉采用最先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

◆ 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 

◆ 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

◆ 对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；

◆ 本化学气相沉积炉采用最新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。

◆ 炉门：铰链回转式/台车平移式；手动锁紧/自动锁圈锁紧              

◆ 炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

◆ 炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC                           

◆ 加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

◆ 工艺气路系统：体积/质量流量计/手动阀/自动阀/进口/国产             

◆ 真空泵和真空计：进口/国产

◆ PLC：欧姆龙/西门子                                             

◆ 控温仪表：日本岛电/英国欧陆 

◆ 热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号                           

◆ 记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产

◆ 人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机                                  

◆ 电器元件：正泰/施耐德/西门子

◆ 料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车