爱德华iH160、iH1800/HTX干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。

产品详图


技术参数

抽速率



应用
?负载锁定
?转换
?计量
?平版印刷
?PVD制程
?PVD预清洁
?RTA
?剥离/灰化
?刻蚀
?植入源
?HDP CVD
?RTP
?SACVD
?MCVD
?PECVD
?LPCVD
?ALD
功能与优势
?优化了设施消耗
?无需预防性维护
?悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理
?在节省电机功率的同时程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性
?耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体
?较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证
?轴杆一体化设计无需电机联轴器，第五抽排级免除对消音器的需求，也避免了颗粒堆积，两者均减少了总体占地空间
泵系列
实践证明，Edwards 高级半导体真空泵能够达到最高运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
?iH80
?iH160
?iH600
?iH1000
?iH1800
?iH1800HTX