薄膜的制备方法有蒸发、溅射、反应离子镀、化学气相沉积、热解喷涂等, 但使用最多的是反应磁控溅射法。

ITO膜层的厚度不同，膜的导电性能和透光性能也不同。一般来说，在相同的工艺条件和性能相同的PET基底材料的情况下，ITO膜层越厚，PET-ITO膜的表面电阻越小，光透过率也相应的越小。导电薄膜的荷电载流子在输运过程中受到表面和界面的散射，当薄膜的厚度可与电子的自由程相比拟时，在表面和界面的影响将变得显著，这个现象称为薄膜的尺寸效应。

导电膜玻璃是国际上70 年代初研制成功的一种新型材料，不仅具有导电性，同时具有透光性，具有广泛的应用前景。它是制造液晶平板显示器（LCD） 的主要材料

      1性能好。

　　2.膜层加工性能好。

　　3.膜层硬度高、耐磨、耐化学腐蚀。

　　4.膜层可见光透过率高,可达85 %以上。

　　5.对微波具有衰减性,衰减率不小于85 %。

　　6.膜层对紫外线具有良好的吸收性,吸收率不小于85 %。

　　7.对红外线具有良好的反射性,反射率不小于80 %。

摘要：随着光电子学时代的到来,兼有导电及透明性的透明导电膜的需要正在剧增.它正被利用于液晶,电子显示器件、摄像管、太阳能电池,冷冻商品陈列橱的防霜等.导电膜的主要参数有：表面电阻、表面电阻de均匀性、透光率、热稳定性、加热收缩率、加热卷曲等。其中光透过率主要与ITO膜所用de基底材料和ITO膜de表面电阻有关透明导电薄膜主要的种类及发展过程,对氧化物透明导电薄膜的不同的制备工艺作了比较,并概括了氧化物透明导电薄膜的应用领域;在对氧化物透明导电薄膜的新的研究进透明导电薄膜主要的种类