无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

    发菌量工作人员产生的污染

    1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）

    2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。

    3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。

    4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品。

    5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。

    6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。

    7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。

   在电子元件制品的制造过程中，微粒子污染对成品率有重大影响，故应在过程中严格控制微粒子的数量，遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。

　　无尘室内防止微粒子污染基本原则：

     排除/除去

　　在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排气，负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。