炉型选择的原则是什么？

答：1）热负荷小于1MW时，宜采用纯辐射圆筒炉；

2）热负荷在1～30MW时，一般选用辐射—对流型圆筒炉；

3）热负大于30MW时，一般选用立式炉或箱式炉；

4）管内介质易裂解、易结焦，或产品品质要求高而需避免介质局部过热和裂解时，应选用卧管（水平管）底烧炉型；

5）管内含固体颗粒时，应选用卧管立式炉或螺旋管圆筒炉；

6）管内介质为气—液两相流时，易选用卧管炉；

7）炉管材料价格昂贵，或因允许压降小，或介质停留时间短而要求缩短炉管总长度时，宜选用单排管双面辐射炉；

8）介质体积流量特别大，允许压降又特别小时，宜选用集合管连接、多路并联的门型管或U型管炉型。

沉积的均匀性与电极和腔室的设计很有关系。管式PECVD系统由于其石墨舟中间镂空，因此利用了硅片作为电极的一部分，因此辉光放电的特性就与硅片表面的特性有了一定的关系，比如硅片表面织构化所生成的金子塔尖端的状态就对等离子体放电产生影响，而目前硅片的电导率的不同也影响到等离子场的均匀性。另外管式PECVD的气流是从石英管一端引入，这样也会造成工艺气体分布的不均匀。

　板式PECVD系统使用了衬底板作为电极，而且采用匀气的Shower系统，但是由于衬底板在长期加热后会有稍微的翘曲，从而造成平行板电极间距的不一致，也会造成片间不均匀。另外，等离子体直接法在大面积沉积时会造成由于高频波长所带来的附加的不均匀性。

管式炉注意事项

电炉操作工应具备国家相应电气设备操作资格，并熟读本电窑随机仪表说明书等技术文件！1温度系统操作：温度仪表用户开关板给电炉送电，此时程序表得电，按温度仪表（如右图）说明书设定仪表（如P、I、D参数），按工艺要求编制加热程序，打开加热旋钮,使加热功率到达6KW。加热功率可按下式计算：加热功率=仪表电压×仪表电流正常加热电流约为： 22A，加热电压约为：220V。加热停止：程序温度结束后，执行时间=0段程序，加热结束。将停止按扭旋至关位。分断用户开关。