随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致信号传输延shi、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400～450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。

不锈钢耐磨复合板是以碳钢材料为基层、不锈钢材料为覆层的复合钢板,碳钢具有承受载荷的（略）具有耐腐蚀的功能,与不锈钢板相比不仅节约了大量稀有贵重金属,而且可以降低成本的30%～50%,是纯不锈钢板的替代材料.目前,覆层厚度>lmm的不锈钢复合板的焊接工艺已基本（略）厚度≤0.5mm的超薄不锈钢复合板,尤其是双面超薄不锈钢复合板的焊接仍然存在较大问题,严重制约了超薄不锈钢复合板的广泛应用. 本文采用500W固体脉冲Nd:YAG激光器,分别以预置高Cr、Ni不锈钢粉(PSP法)、焊缝表面熔覆不锈钢粉(CSP法)和预置310S不锈钢片(PSS法),对（略）0.8mm+0.1mm的双面超薄不锈钢复合板进行了激光焊接性研究.详细的介绍了填充材料的（略）焊接方法的选择、激光焊接的工艺及流程,分析了在优化工艺参数下焊接接头的显微组织、耐腐蚀性能和力学性能. 显微组织分析表明:焊缝窄且宽度均匀,未发现裂纹等缺陷；双面超薄不锈钢复合板的激光双面焊接具有成形性能好,焊缝金属与覆层不锈（略）连接良好.PSP法、CSP法和PSS法的激光焊缝晶粒均比母材的小。

不锈钢耐磨复合板具有良好的力学和抗腐蚀性能,因此广泛应用于石油化工、海洋工程等工业领域.不锈钢复合板的基层与复层材料之间存在物理和化学性能的较大差异,使得不锈钢复合板（略）易出现复层焊缝金属被稀释和焊接裂纹等缺陷,严重影响其在实际生产中的使用性能.（略）焊接接头,通常采用在基层和复层之间添加过渡层的方法.在基层焊接中采用埋弧焊工艺,复合耐磨板复层和过渡层采用焊条电弧焊工艺分别进行焊接,而复层与过渡层的焊接工艺是影响接头质量的关键所在.为此,立题研究其焊接工艺并对工艺及性能进行分析研究.