2BV系列真空泵
2BE系列真空泵
液环真空机组
干式螺杆泵
液环真空泵
佶缔纳士,华煜晨,沃尔姆,德国希赫等
真空机组ESDP变螺距干式螺杆真空泵
2BV真空泵真空机组
ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线,动力节省30%,排温度
低,工艺稳定,干式螺杆泵产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了zui
佳的真空效率和耐用性。ESDP系列不使用油和水,可压缩方式操作,水
气和液态混合工艺,非常适合干燥,回收,化工,制药,塑料等各种
真空工艺。
特点
■ESDP干式螺杆真空泵优点及特征
1.吸入效率(提升15%)。
2.排效率改善(2级可变,连续可变频率)。
3.极限压力: 1*10-2Tor(托)。
4.排气温度降低50%。
5.电力消耗减少30%。
6.不使用油和水,不会成油和水的污染。
7.低功耗、低噪音、低振动,动平衡好,没有惯性力,可高速运行。
8.设计结构简单,易保养,维修费用低,寿命长。
9.适用范围广,具有高真空性能。
10.使用寿命长,气体接触部位都具有聚四氟2烯、镍和哈氏合金涂层(部分工
艺可选用特种材质解决腐蚀问题)。
11.唇型密封和机械密封等多种密封方式,满足不同的工艺应用。
12.前后采用稀有润滑方式,提高轴承耐用性。
■ESDP干式螺杆真空泵概述
极限压力完全无油无水
ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线,动力节省30%,排温度低,工艺稳定,式螺杆泵产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了**佳的真空效率和耐用性。
ESDP系列不使用油和水,可压缩方式操作,水气和液态混合工艺,非常适合干燥,回收,化工,制药,塑料等各种真空I艺。
沃尔姆真空泵水环式ESDP干式螺杆真空泵
典型应用
■ESDP干式螺杆泵的应用范围
●ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧蒂电浆(PL ASMA)的CVD制程中。
此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。
●在石油化工中,要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
●制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒,为人器官提供清洁无菌条件等。
●化工中用于真空及取回收,例如取回收,元等工艺
●工业排气;集中式真空处理系统
●挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
●混合脂艺;在生产中用于消除水污染,及喷器中的塞物
●食品行业用于香料、香
缩,食品包装等。
如需得到更为详细的信息,请咨询客服。
■ESDP干式螺杆真空泵标准配件
基座和防护罩
排气消声器及进纷离器
吸气口
回阀
真空计
■ESDP干式螺杆真空泵可选配件
吸滤器
排气冷凝器
吸入式气液分离器
流量开关及温度开关
水环真空泵及压缩机属于容积变化式设计。如上图所示,转子在泵壳内偏心安装,它的转动会迫使工作液沿泵壳内壁形成一个与其同方向旋转的液环。此时,会在两相邻叶片、叶轮轮毂和液环内表面之间形成一个“气腔”。随着转子的旋转,此气腔在泵的吸气区体积逐渐增大,其内部压力下降,从而将气体吸入泵内;相反,气腔在排气区体积逐渐减小,其内部压力上升,从而将气体排出泵外。