2BV系列真空泵

2BE系列真空泵

液环真空机组

干式螺杆泵

液环真空泵

佶缔纳士，华煜晨，沃尔姆，德国希赫等

真空机组ESDP变螺距干式螺杆真空泵

2BV真空泵真空机组

ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线，动力节省30%，排温度

低,工艺稳定，干式螺杆泵产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了zui

佳的真空效率和耐用性。ESDP系列不使用油和水，可压缩方式操作,水

气和液态混合工艺，非常适合干燥，回收,化工，制药，塑料等各种

真空工艺。

特点

■ESDP干式螺杆真空泵优点及特征

1.吸入效率(提升15%)。

2.排效率改善(2级可变,连续可变频率)。

3.极限压力: 1*10-2Tor(托)。

4.排气温度降低50%。

5.电力消耗减少30%。

6.不使用油和水，不会成油和水的污染。

7.低功耗、低噪音、低振动,动平衡好，没有惯性力，可高速运行。

8.设计结构简单，易保养，维修费用低，寿命长。

9.适用范围广,具有高真空性能。

10.使用寿命长，气体接触部位都具有聚四氟2烯、镍和哈氏合金涂层(部分工

艺可选用特种材质解决腐蚀问题)。

11.唇型密封和机械密封等多种密封方式，满足不同的工艺应用。

12.前后采用稀有润滑方式，提高轴承耐用性。

■ESDP干式螺杆真空泵概述

极限压力完全无油无水

ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线，动力节省30%，排温度低,工艺稳定,式螺杆泵产品适用于各种领域的真空工艺，也维持了**佳的真空效率和耐用性。

ESDP系列不使用油和水，可压缩方式操作，水气和液态混合工艺，非常适合干燥，回收，化工，制药，塑料等各种真空I艺。

沃尔姆真空泵水环式ESDP干式螺杆真空泵

典型应用

■ESDP干式螺杆泵的应用范围

●ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧蒂电浆(PL ASMA)的CVD制程中。

此工艺要求返流为0，以保护工件免受污染。

●在石油化工中，要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。

●制药行业，用于药物的真空干燥，药物中间体回收,回收气体消毒，为人器官提供清洁无菌条件等。

●化工中用于真空及取回收,例如取回收，元等工艺

●工业排气;集中式真空处理系统

●挤出机的混合工艺及板材的排气工艺

●混合脂艺;在生产中用于消除水污染，及喷器中的塞物

●食品行业用于香料、香 缩，食品包装等。

如需得到更为详细的信息，请咨询客服。

■ESDP干式螺杆真空泵标准配件

基座和防护罩

排气消声器及进纷离器

吸气口

回阀

真空计

■ESDP干式螺杆真空泵可选配件

吸滤器

排气冷凝器

吸入式气液分离器

流量开关及温度开关

水环真空泵及压缩机属于容积变化式设计。如上图所示，转子在泵壳内偏心安装，它的转动会迫使工作液沿泵壳内壁形成一个与其同方向旋转的液环。此时，会在两相邻叶片、叶轮轮毂和液环内表面之间形成一个“气腔”。随着转子的旋转，此气腔在泵的吸气区体积逐渐增大，其内部压力下降，从而将气体吸入泵内；相反，气腔在排气区体积逐渐减小，其内部压力上升，从而将气体排出泵外。