标准手动探针台
型号:HMP-800 可测8’’晶圆
型号:HMP-1200 可测12’’晶圆
此款探针台采用可靠的,高精度操作装置,非常易于操作,此款标准手动探针台支持宽范围应用,如:高温台(室温到200℃或300℃),亚微米级的操作和激光切割。
应用:
温度范围:室温到300℃
超低信号I-V测量(fA级)
各种C-V测量(准静态C-V, HF-CV,RF-CV)
RF测量(可到67GHz)
超高速I-V测量
扩展应用:
支持探卡(支持多点位晶圆可靠性测试WLR)
可加激光切割(点标记,保护层剥离,金属层切割)
显微镜可加亚微级精度,有效隔离振动,超高精度样品座
光电子中光接收/发散特性评估应用(如:LED,LD,VCSEL,PD)
高功率元器件测量(200A脉冲,+/-3kV三轴,+/-10kV同轴)
晶圆的可靠性测试(如:EM,TDDB,HCI,NBTI,BT)
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手动高低温探针台
型号:HMP-800SC 可测8’’晶圆
型号:HMP-1200SC 可测12’’晶圆
此款手动探针台系统针对于新一代半导体装置设计,非常低的噪音和低的漏电流。在这个系统中,屏蔽的样品腔包含探针和样品台全部都在EMI屏蔽环境中。此系统支持超低信号测试,1/f噪音测试,S参量测试,和高速I-V测试在控温变温环境中从-60℃到300℃(或者特殊环境到400℃)
这个探针台系统可选支持高电流和高电压功率测试。
HMP-610SC 6’’晶圆可选。
应用:
温度范围:室温到300℃或-60℃到300℃
超低信号I-V测量(fA级)
各种C-V测量(准静态C-V, HF-CV,RF-CV)[sub pF级]
1/f噪音评估
RTN(自由电子噪音)评估
高频噪音评估(到800MHz)
RF测量(到67GHz)/S 参数测量
超高速I-V测量
扩展应用:
支持探卡(支持多点位晶圆可靠性测试WLR)
光电子中光接收/发散特性评估应用(如:LED,LD,VCSEL,PD)
高功率元器件测量(200A脉冲,+/-3kV三轴,+/-10kV同轴)
晶圆的可靠性测试(如:EM,TDDB,HCI,NBTI,BT)
![](http://img3.makepolo.cn/img3/028/844/100019102844_14994104576264.jpg)